附件15.1

獨立註冊會計師事務所的同意

向監事會
ASML Holding NV:
我們同意在註冊聲明中以提述的方式註冊成立(編號:333-116337、333-126340、333-136362、333-141125、333-142254、333-144356、333-147128、333-153277、333-162439、333-170034、333-188938、333-190023、333-192951、333-203390、333-219442和333-227464)在我們2022年2月9日報告的表格S-8中,內容涉及ASML Holding NV的合併財務報表以及財務報告內部控制的有效性。

荷蘭阿姆斯特爾文
畢馬威會計師事務所
2022年2月9日