附件23.1

 

 

獨立註冊會計師事務所的同意

 

我們同意在以下注冊聲明中引用註冊成立：

(1)
與安拓創新公司2020年員工股票購買計劃有關的登記聲明(S-8表格第333-238492號)。

在我們於2024年2月26日提交的報告中，有關於截至2023年12月30日的年度報告(Form 10-K)中包含的關於Onto Innovation Inc.的合併財務報表和Onto Innovation Inc.財務報告的內部控制有效性的報告。

/S/安永律師事務所

伊塞林，新澤西州

2024年2月26日