附錄 23.1

獨立 註冊會計師事務所的同意

我們 同意在 CVD 設備公司的註冊聲明中以引用方式註冊成立 S-8 表格（文件編號 333-138903、333-153186 和 333-217439）和我們 2024 年 3 月 28 日關於我們對 CVD 設備公司及子公司截至2023年12月31日和 2022年12月31日的合併財務報表以及 截至2023年12月31日期間每年的合併財務報表以及 截至2023年12月31日期間每年的合併財務報表以及 截至2023年12月31日期間每年的報告的 表格 包含在本截至2023年12月31日止年度的CVD 設備公司10-K表年度報告中。

/s/ Marcum LLP

Marcum LLP

紐約州梅爾維爾，

2024 年 3 月 28