附錄 21.1

CVD 設備公司

註冊人的子公司

附屬的

名字

州 或其他司法管轄區

OF 公司或組織

CVD 材料公司 全新 約克
CVD MesoScribe 科技公司 全新 約克
FAE Holdings 411519R, LLC 全新 約克