附錄 21.1
Axcelis 科技公司
截至 2023 年 12 月 31 日止年度的 10-K 表格附錄 21.1
子公司
以下是截至本文發佈之日Axcelis Technologies, Inc.的所有直接和間接全資子公司的清單：
國內子公司
1. | Axcelis Technologies（以色列）有限公司，特拉華州的一家公司 |
歐洲子公司
2. | Axcelis 技術有限公司（德國） |
3. | Axcelis Technologies, Srl（意大利） |
4. | Axcelis Technologies，薩爾（法國） |
亞洲子公司
5. | Axcelis Technologies，KK（日本） |
6. | Axcelis科技有限公司（韓國） |
7. | Axcelis科技股份有限公司（臺灣） |
8. | Axcelis科技私人有限公司有限公司（新加坡） |
9. | Axcelis Technologies 半導體貿易（上海）有限公司（中華人民共和國） |
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