附件15.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們同意在註冊聲明中以提述的方式註冊成立（編號：333—116337、333—126340、333—136362、333—141125、333—142254、333—144356、333—147128、333—153277、333—162439、333—170034、333—188938、333—190023，333—192951、333—203390、333—219442和333—227464）於我們日期為2023年2月15日的報告的表格S—8中就ASML Holding N.V.的合併財務報表和財務報告內部控制的有效性進行了審核。

/s/畢馬威會計師事務所N. V

Amstelveen，荷蘭

2023年2月15日