| 法人實體 | 註冊國家/地區 | ||||
ASML Holding N.V.1的子公司： | |||||
| ASML比利時BV | 比利時(埃森) | ||||
| 愛馬仕微視有限公司(北京) | 中國(北京) | ||||
| ASML(上海)電氣設備有限公司。 | 中國(上海) | ||||
| ASML(上海)光刻設備科技有限公司。 | 中國(上海) | ||||
| 賽默半導體設備(上海)有限公司。 | 中國(上海) | ||||
| 愛馬仕微視(上海)有限公司 | 中國(上海) | ||||
| 布里昂科技(深圳)有限公司。 | 中國(深圳) | ||||
| ASML法國S.a.r.l. | 法國(伯寧) | ||||
| ASML Verwaltungs GmbH | 德國(柏林) | ||||
| ASML柏林有限公司(前身為柏林格拉斯有限公司) | 德國(柏林) | ||||
| ASML德國有限公司 | 德國(德累斯頓) | ||||
| ASML Participation德國有限公司 | 德國(德累斯頓) | ||||
| ASML香港物流服務有限公司。 | 香港特別行政區 | ||||
| ASML香港有限公司。 | 香港特別行政區 | ||||
| ASML愛爾蘭有限公司 | 愛爾蘭(都柏林) | ||||
| ASML以色列(2001)有限公司。 | 以色列(Kiryat Gat) | ||||
| ASML意大利S.r.l. | 意大利(阿維扎諾) | ||||
| ASML日本有限公司 | 日本(東京) | ||||
| Cmer日本公司 | 日本(東京) | ||||
| ASML設備馬來西亞有限公司。巴赫德。 | 馬來西亞(喬治敦、檳榔嶼) | ||||
| Cymer B.V. | 荷蘭(維爾德霍温) | ||||
| ASML荷蘭B.V. | 荷蘭(維爾德霍温) | ||||
| ASML Trading B.V. | 荷蘭(維爾德霍温) | ||||
| Hermes Microvision Incorporated B. V | 荷蘭(維爾德霍温) | ||||
| ASML新加坡私人有限公司LTD. | 新加坡 | ||||
| Cmer新加坡私人有限公司 | 新加坡 | ||||
| ASML韓國有限公司 | 韓國(京基島) | ||||
| ASML修復中心韓國有限公司 | 韓國(京基島) | ||||
| 韓國Cymer公司 | 韓國(京基島) | ||||
| ASML臺灣有限公司 | 臺灣（新竹市） | ||||
| 臺灣亞士美科技股份有限公司 | 臺灣（新竹市） | ||||
| 西默東南亞有限公司 | 臺灣（新竹市） | ||||
| ASML（UK）Ltd. | 英國（愛丁堡（蘇格蘭）） | ||||
| Cymer，LLC. | 美國（內華達州卡森市） | ||||
| Hermes Microvision，Inc | 美國（加利福尼亞州洛杉磯） | ||||
| ASML US，LLC | 美國（特拉華州威爾明頓） | ||||
| ASML US，LP | 美國（特拉華州威爾明頓） | ||||