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三星和諾瓦發佈聯合研究
在 SPIE 高級光刻會議上

演示在線功能
的光譜干涉測量和拉曼光譜
用於高級內存應用程序

 

以色列雷霍沃特——2024年2月27日——Nova（納斯達克股票代碼：NVMI）今天宣佈，它將在2024年SPIE Advanced Lithography 2024上發表兩篇與三星研發中心共同撰寫的 篇論文。這些論文將由Nova和三星在SPIE的計量、檢驗和過程控制會議上發表。

這些論文是兩家公司持續合作的結果，這些合作推動了許多創新的聯合開發計劃，以增強 先進的芯片製造。這些論文演示了Nova通過開發獨特的解決方案來測量存儲器陣列內部複雜結構上感興趣的關鍵參數，從而利用多種新技術來實現高級過程控制。

第一篇論文 “複雜高縱橫比三維 NAND 結構的獨特光譜干涉測量解決方案” 展示了光譜 干涉測量 (SI) 和垂直行進散射算法 (VTS) 和 AI 能力在解決複雜高縱橫比結構（例如 3D NAND）中的挑戰方面的能力。這是通過直接從 VTS 信號測量 multideck 3D 結構的複雜層厚度來實現的，無需建模，同時過濾來自底層的信息。此外，VTS 和 AI 可以直接分析具有非週期性階梯 和顯著橫向變化的區域中的深穿式細胞金屬接觸。

第二篇論文《使用光譜干涉法、拉曼光譜和混合機器 學習對硫系化物合金層進行單元厚度監測”，除了 VTS 建模外，還介紹了在線拉曼光譜的使用。與特定材料鍵相對應的拉曼信號轉換為臨界硫系化物 材料的在線細胞厚度和成分測量。事實證明，拉曼光譜結果支持採用 VTS 光譜的無模型 AI 解決方案，這是該解決方案測量材料特性的能力的衍生物。

Nova首席技術官謝伊 Wolfling博士説：“我們很高興有機會與三星研發中心合作推出Nova的創新技術。”“這種合作使我們能夠在最先進、最具挑戰性的 內存架構的關鍵工藝步驟中評估、增強和擴展我們的在線光譜干涉測量和拉曼技術的用例。這項聯合工作表明，通過與客户的研發合作，我們可以推出開創性的解決方案，實現向大批量製造的快速過渡。”

 

關於 Nova

Nova是半導體 製造中先進過程控制的材料、光學和化學計量解決方案的領先創新者和關鍵提供商。Nova通過提供最先進的高性能計量解決方案來實現持續創新，從而在整個半導體制造生命週期中實現有效的過程控制。Nova 的產品組合結合了 高精度硬件和尖端軟件，為其客户提供了開發和生產最先進的半導體器件的深刻見解。Nova 提供創新解決方案的獨特能力使其客户能夠 提高性能、提高產品產量並縮短上市時間。Nova通過其全球辦事處充當半導體制造商的合作伙伴。更多信息可以在 Nova 的網站鏈接 https://www.novami.com/ 上找到。

Nova在納斯達克和TASE上市，納斯達克股票代碼為NVMI。

 

前瞻性陳述

 

本新聞稿包含1995年 《私人證券訴訟改革法》安全港條款所指的前瞻性陳述，這些條款涉及未來事件或我們的未來業績，例如有關但不限於預期增長機會的陳述以及對我們業務及其未來收入、支出和盈利能力的預測。前瞻性 陳述涉及已知和未知的風險、不確定性和其他因素，這些因素可能導致我們的實際業績、活動水平、業績或成就與這些前瞻性陳述中表達或暗示的任何未來業績、活動水平、業績或 成就存在重大差異。可能影響我們業績、業績、情況或成就的因素包括但不限於以下因素：信息技術安全加劇 威脅和複雜的計算機犯罪；包括供應鏈困難在內的外國政治和經濟風險；經濟制裁和出口限制等可能限制我們運營的法規；美國貿易政策的變化； 俄烏衝突的間接影響；包括通貨膨脹和衰退壓力在內的市場不穩定；與做事相關的風險與中國的業務；災難性事件；無法保護我們的知識產權；開源 技術風險，包括與人工智能相關的風險；未能有效競爭或未能應對快速的技術變革；我們的行業整合；難以預測我們目標市場的任何衰退 或擴張期的長短和強度；對我們產品線定價和需求產生不利影響的因素；對少數大型客户的依賴；對單一製造每個產品線的設施； 對有限數量供應商的依賴；難以整合當前或未來的收購；漫長的銷售週期和客户的訂單延遲；與以色列狀況相關的風險，包括與哈馬斯和其他 恐怖組織最近從加沙地帶發動的襲擊以及以色列對他們的戰爭有關的風險；與我們的可轉換票據相關的風險；貨幣波動；以及我們經營業績的季度波動。我們無法保證未來的結果、活動水平、 業績或成就。本新聞稿中討論的事項還涉及 Nova 於 2024 年 2 月 20 日向 證券交易委員會提交的截至2023年12月31日止年度的20-F表年度報告中 “風險因素” 標題下總結的風險和不確定性。通過向證券交易委員會提交報告和註冊聲明，這些因素會不時更新。Nova Ltd. 不承擔任何義務 更新本新聞稿中包含的前瞻性信息。