附錄 23.1
獨立註冊會計師事務所的同意
我們同意以提及方式納入以下注冊聲明：
| (1) | 與 Axcelis Technologies, Inc. 2012年股權激勵計劃有關的註冊聲明（S-8表格，編號333-181750、333-188967、333-196157、333-204544、333-211673、333-218225和333-231634） |
| (2) | 與Axcelis Technologies, Inc. 2020年員工股票購買計劃有關的註冊聲明（S-8表格編號333-238770） |
| (3) | 與2000年股票計劃和2012年股權激勵計劃有關的註冊聲明（S-8表格編號333-120356），以及 |
| (4) | Axcelis Technologies, Inc.關於普通股、優先股、認股權證、債務證券和單位註冊的註冊聲明（表格S-3，編號333-273639）及相關招股説明書； |
我們在2024年2月23日發佈的關於Axcelis Technologies, Inc.截至2023年12月31日止年度的10-K/A表格第1號修正案中包含的關於Axcelis Technologies, Inc.合併財務報表和附表以及對Axcelis Technologies, Inc.財務報告的內部控制有效性的報告中。
//安永會計師事務所
馬薩諸塞州波斯頓
2024年2月28日
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