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委託書（公開）：MCCARTHYMICHELLEMPOA

第 24 號附錄

第 16 條申報義務的有限授權書

通過在場的所有人知道下列簽署人構成的
並分別任命凱瑟琳·伯克、M. Kathryn Rickards和
詹姆斯·克魯格，單獨簽名，下列簽名人是真實合法的
事實上的律師給：

1) 在下列簽署人中為並代表下述簽署人執行
下列簽署人作為 MKS 高級職員和/或董事的身份
Instruments, Inc.（“公司”），表格 3、4、5 和 144
（總而言之，？表格？）根據第 16 (a) 條
1934年《證券交易法》及其相關規則；

2) 為和代表他人採取和執行任何和所有行為
下面簽名的，可能是必要或可取的，以及
執行任何此類表格、填寫並執行任何修正案或
對其進行修改，並及時向美聯航提交此類表格
州證券交易委員會和任何證券交易所
或類似機構；以及

3) 採取任何其他與之相關的任何類型的行動
根據上述情況，事實上的律師認為，
可能有利於、符合其最大利益或法律要求
以下簽名者，據瞭解，這些文件由
根據本規定代表下列簽署人擔任事實上的律師
有限授權書應採用這種形式，並應包含此類內容
事實上的律師可能批准的條款和條件
事實上律師的自由裁量權。

下列簽署人特此授予每位此類律師的全部權力
以及做和執行任何行為和事情的權力
在行使以下任何一項時必須做的、必要的、適當的
無論出於何種意圖，本協議授予的權利和權力均屬完全以及
下列簽署人親自到場時可能或可能達到的目的，
具有完全的替代或撤銷權，特此批准和
確認所有此類事實上的律師，或該事實上的律師
替代品或替代品，應合法地這樣做或促使這樣做
本有限授權書以及權利和權力的優點
特此授予。下列簽署人承認上述情況
事實上是律師，應律師的要求以這種身份任職
下列簽署人沒有假設，公司也不假設，
下列簽署人遵守本節規定的任何責任
1934 年《證券交易法》第 16 條。

本有限授權書將取代任何授權書
先前由下列簽署人就該問題給予批准
在此事宜，並應保持完全的效力和效力，直到
不再需要簽名人提交表格 3、4、5 和 144
關於下列簽署人的持有和交易
公司發行的證券，除非事先被公司撤銷
下列簽名者以書面簽名，送交前述內容
事實上的律師。本有限授權書可以提交
以美國證券交易委員會作為權威機構的確認聲明
在此授予。

為此，下列簽署人造成了這種有限權力，以昭信守
自2024年2月21日起，律師將被處決。

/s/ 米歇爾·麥卡錫
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米歇爾·麥卡錫