附件32.1

首席執行官和首席財務官的認證

依據《美國法典》第18編第1350條,

根據以下規定通過

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

關於本文件日期提交給美國證券交易委員會的截至2023年12月31日止的MKS儀器公司(“本公司”)10-K表格年度報告(“本報告”),簽署人本公司首席執行官John T.C.Lee、本公司首席執行官總裁和執行副總裁Seth H.Bagshaw、本公司首席財務官兼財務主管Seth H.Bagshaw,現根據根據2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節通過的《美國法典》第18編第1350條證明,基於其所知:

(1)

該報告完全符合1934年《證券交易法》第13(A)或15(D)節的要求;以及

(2)

該報告所載資料在各重大方面均公平地反映了本公司的財務狀況及經營結果。

 

 

日期:2024年2月27日

/S/約翰·T·C·李

 

約翰·T·C·李

總裁與首席執行官

(首席行政主任)

 

 

日期:2024年2月27日

/S/賽斯·H·巴格肖

 

賽斯·H·巴格肖

執行副總裁總裁,首席財務官兼財務主管

(首席財務官)