附錄 24.1

委託書

用於根據第 16 (a) 條執行與 Axcelis TECHNOLOGIES INC. 證券有關的報告

下列簽署人特此組成並任命卡温頓和伯林律師事務所的羅素·洛夫、琳內特·法倫和梅根·蓋茨等人，從本文發佈之日起至本授權書被撤銷為止，每人單獨行事，即下列簽署人的真實合法代理人：

(1)

根據1934年《證券交易法》第16（a）條及其相關規則，代表下列簽署人執行關於Axcelis Technologies, Inc.證券的表格3、4和5，但不言而喻，該事實上的律師根據本授權書代表下列簽署人簽發的文件應採用這種形式，並應包含事實律師等條款和條件可酌情批准；以及

(2)

為了完成任何此類表格 3、4 或 5 的執行以及及時向美國證券交易委員會和任何其他機構提交該表格，為和代表下列簽署人採取和執行任何必要或可取的行為。

下列簽署人特此授予每位事實上的律師在行使本協議授予的任何權利和權力時採取和執行所有必要、必要和適當的行為和事物的全部權力和權力，無論出於何種意圖和目的，只要下述簽署人親自到場可能或可能做的那樣，具有完全的替代權或撤銷權，特此批准和確認該事實上的律師或他或他或他的所有意圖和目的她的一個或多個替代者，應憑藉這種權力，合法地做或促成這樣做律師以及此處授予的權利和權力。下列簽署人承認，上述律師實際上是應下列簽署人的要求以這種身份任職的，沒有承擔下列簽署人遵守1934年《證券交易法》第16條的任何責任。

為此，下列簽署人促使本授權書於今年 13 日生效，以昭信守^第四2023 年 12 月的那一天。

/s/ 格雷戈裏 B. 格雷夫斯________

格雷戈裏 B. 格雷夫斯