附件23.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們已就Amtech Systems，Inc.的年報所載的綜合財務報表及財務報告的內部控制發出日期為二零二三年十二月十四日的報告。截至2023年9月30日止年度的10-K表格。我們同意通過引用將上述報告納入Amtech Systems，Inc.的註冊聲明。表格S-8（檔案編號：333-263875、333-204431、333- 196940、333-196937、333-131051、333-145454、333-09911、333-168606、333-168607）。