附件21.1

Amtech Systems,Inc.及其子公司

註冊人的子公司

 

名字

 

成立為法團的司法管轄區

先進複合材料公司

 

特拉華州

 

 

 

布魯斯技術公司

 

馬薩諸塞州

 

 

 

BTU歐洲有限公司

 

英國

 

 

 

BTU國際公司

 

特拉華州

 

 

 

BTU有限公司(上海)

 

中國

 

 

 

BTU海外有限公司。

 

特拉華州

 

 

 

北通海外(上海)有限公司。

 

中國

 

 

 

Entrepix公司

 

亞利桑那州

 

 

 

Entrepix亞洲有限公司

 

新加坡

 

 

 

Entrepix國際公司

 

亞利桑那州

 

 

 

Intersurface Dynamics公司

 

康涅狄格州

 

 

 

P.R.霍夫曼機械產品公司

 

亞利桑那州

 

 

 

坦普拉斯系統公司

 

德克薩斯州