附錄 23.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們特此同意以提及方式將我們2023年8月4日的報告納入本KLA Corporation表S-8表格的註冊聲明中關於財務報表、財務報表附表和財務報告內部控制的有效性， 出現在截至2023年6月30日的KLA公司10-K表年度報告中。

/s/{ br} 普華永道會計師事務所

加利福尼亞州聖何塞

2023年11月1日