附件23.01
獨立註冊會計師事務所的同意
茲同意布魯克斯自動化公司於2021年11月24日提交的S-3表格(第333-23313號)和S-8表格(第333-252725號、第333-202005號、第333-216312號、第333-221826號、第333-123242號和第333-142873號)的登記報表中引用併入本10-K表格中有關合並財務報表和財務報告內部控制有效性的內容。
/s/普華永道會計師事務所
波士頓，馬薩諸塞州
2021年11月24日