附錄 32.1

根據《美國法典》第 18 條第 1350 條對首席執行官進行認證，

根據以下規定獲得通過

2002 年《薩班斯-奧克斯利法案》第 906 條

我，邁克爾·普利辛斯基，根據根據2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第906條通過的《美國法典》第18條第1350條，證明截至2023年7月1日的10-Q表Onto Innovation Inc.季度報告完全符合1934年《證券交易法》第13（a）或15（d）條（如適用）的要求，以及其中包含的信息 10-Q表的季度報告在所有重大方面公允地列報了Onto Innovation Inc.的財務狀況和經營業績

日期：2023 年 8 月 10 日