附錄 5.1
| 2023年6月5日 | +1 617 526 6000 (t) +1 617 526 5000 (f) www.wilmerhale.com |
MKS 儀器有限公司
2 Tech Drive，套件 201
馬薩諸塞州安多弗 01810
| 回覆： | 表格 S-3 上的註冊聲明 |
女士們、先生們：
本意見與 (i) 馬薩諸塞州的一家公司 Inc.根據經修訂的1933年《證券法》（《證券法》）向美國證券交易委員會（委員會）提交的 S-3 表格（文件編號 333-267046）（註冊聲明）的註冊聲明（文件編號333-267046）（註冊聲明）有關 普通股的註冊，否公司每股面值（普通股），根據規則，所有這些股票都可以不時延遲或持續發行415 根據《證券法》，以不確定的首次發行價格 ，詳見註冊聲明和其中包含的招股説明書（基本招股説明書）以及（ii）2023年6月1日的招股説明書補充文件（招股説明書補充文件以及 基本招股説明書，招股説明書），涉及根據註冊聲明出售多達2,000,000股普通股（以下簡稱 “股票”）) 由公司的某些股東（出售 股東）執行。
這些股票將由賣出股東根據日期為2023年6月1日 的承銷協議（承銷協議）發行和出售，由公司、承銷協議附表2中指定的賣出股東和作為承銷協議中提到的幾家承銷商 的代表的摩根證券有限責任公司之間發行和出售，該協議作為公司當前報告的附錄1.1提交委員會在本文件發佈之日提交的表格8-K上.
我們就出售股票的股東出售擔任公司的法律顧問。我們已經審查並依賴了向委員會提交的註冊聲明的簽名副本 。我們還審查並依賴了公司提供給我們的承銷協議、招股説明書、 公司股東和董事會的會議記錄和行動、經重述的公司組織章程和經修訂和重述的公司章程，以及迄今為止經重述和/或修訂的公司章程，以及我們認為為發表下文所述意見所必需的其他 文件。
在審查上述 文件時，我們假設所有簽名的真實性，作為原件提交給我們的所有文件的真實性，作為副本提交給我們的所有文件與原始文件的一致性， 後一類文件的原件的真實性以及此類文件的所有簽署人的法律權限。
