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律師

東威斯康星大道 777 號

威斯康星州密爾沃基 53202-5306

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附錄 5.1

2023年5月3日

先進能源工業公司

Wynkoop 街 1595 號,800 套房

科羅拉多州丹佛市 80202

女士們、先生們:

我們曾擔任特拉華州的一家公司Advanced Energy Industries, Inc.(以下簡稱 “公司”)的法律顧問,該聲明將由公司根據經修訂的1933年《證券法》(“證券法”)向美國證券交易委員會提交,註冊了2,400,000股公司普通股(“註冊股份”),面值為0.001美元每股(“普通股”),可能根據Advanced Energy Industries, Inc. 2023 Omnibus發行激勵計劃(“2023 年計劃”)。

關於我們的陳述,我們審查了:(a)2023年計劃和相關文件;(b)註冊聲明,包括構成註冊聲明一部分的附件(包括以引用方式納入的附件);(c)迄今為止修訂的公司註冊證書和公司章程;(d)公司董事會與2023年計劃和根據該計劃發行普通股有關的決議;以及 (e) 我們認為必要的其他公司程序、文件和記錄或適當使我們能夠提出這種意見。

在審查上述文件時,我們假設所有簽名的真實性,所有自然人的法律行為能力和能力,作為原件提交給我們的所有文件、證書和文書的真實性,以及作為副本提交給我們的所有文件的原件均符合原件。我們還假設公司在調查過程中向我們提供的所有其他信息都是準確的,我們依靠這些信息發佈了下述意見。

就下文提出的意見而言,我們假設在根據2023年計劃發行註冊股份時,公司獲得的對價將不低於每次此類發行所涵蓋的註冊股份的總面值。

據瞭解,在註冊聲明生效期間,本意見僅用於註冊股份的發行和出售。

除特拉華州通用公司法和美利堅合眾國聯邦法律外,我們在此不對任何州或司法管轄區的法律發表任何意見。本意見是根據《證券法》S-K法規第601(b)(5)項的要求提供的,除此處明確規定的與註冊聲明或構成註冊股份發行的一部分的招股説明書內容有關的任何事項外,本文不發表任何意見。

奧斯汀

波士頓

芝加哥

達拉斯

丹佛

底特律

休斯頓

傑克遜

洛杉磯

麥迪遜

墨西哥城

邁阿密

密爾沃

紐約

奧蘭多

薩克拉曼

鹽湖城

聖地亞哥

舊金山

硅谷

塔拉哈西

坦帕

華盛頓特區

布魯塞爾

東京


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2023年5月3日

第 2 頁

綜上所述,我們認為,如果公司根據2023年計劃的條款和條件以及註冊聲明的設想發行,則每股註冊股份將是有效發行、全額支付且不可徵税的。

我們同意將本意見用作註冊聲明的附錄。在給予同意時,我們不承認我們是《證券法》第11條所指的 “專家”,也不承認我們屬於《證券法》第7條要求獲得同意的人員類別。

真的是你的,

//Foley & Lardner LLP

Foley & Lardner LLP