附錄 31.1

認證

首席執行官的

根據規則 13a-14 (a) /15d-14 (a)（實施《薩班斯-奧克斯利法案》第 302 條）

我，Mary G. Puma，證明：

1。我已經閲讀了這份 Axcelis Technologies, Inc. 10-Q 表季度報告；

2。據我所知，鑑於作出此類陳述的情況，本報告不包含任何關於重大事實的不真實陳述，也沒有陳述作出陳述所必需的重大事實，在本報告所涉期間內不會產生誤導；

3。根據我所知，本報告中包含的財務報表和其他財務信息，在所有重大方面公允反映了註冊人截至本報告所述期間和期間的財務狀況、經營業績和現金流；

4。註冊人的其他認證官員和我負責為註冊人建立和維護披露控制和程序（定義見《交易法》第 13a-15 (e) 和 15d-15 (e) 條）以及對財務報告的內部控制（定義見《交易法》第 13a-15 (f) 和 15d-15 (f) 條），並擁有：

(a) 設計了此類披露控制和程序，或促使在我們的監督下設計此類披露控制和程序，以確保這些實體內的其他人向我們提供與註冊人（包括其合併子公司）有關的重要信息，尤其是在編寫本報告期間；

(b) 設計此類財務報告內部控制，或促使此類財務報告內部控制在我們的監督下設計，以便為財務報告的可靠性和根據公認的會計原則為外部目的編制財務報表提供合理的保證；

(d) 在本報告中披露了註冊人最近一個財政季度（如果是年度報告，則為註冊人的第四個財政季度）發生的註冊人對財務報告的內部控制的任何變化，這些變化對註冊人對財務報告的內部控制產生了重大影響或有理由可能對註冊人財務報告的內部控制產生重大影響；以及

5。根據我們對財務報告內部控制的最新評估，註冊人的其他認證人員和我已向註冊人的審計師和註冊人董事會的審計委員會（或履行同等職能的人員）披露了：

(a) 財務報告內部控制的設計或運作中存在的所有重大缺陷和重大缺陷，這些缺陷和缺陷很可能對註冊人記錄、處理、彙總和報告財務信息的能力產生不利影響；以及

(b) 任何涉及在註冊人財務報告內部控制中起重要作用的管理層或其他僱員的欺詐行為，無論是否重大。