附錄 10.1

合規的 EXEC 副本

AXCELIS TECHNOLOGIES

2023 年經修訂和重述的僱傭協議

Mary G. Puma

本截至2023年2月24日的2023年經修訂和重述的就業 協議（“協議”）的各方是 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.，一家位於美國特拉華州的公司 （“公司”），以及居住在美國新罕布什爾州的個人 MARY G. PUMA（“行政部門”）。 公司和高管是自2022年5月24日起生效的經修訂和重述的僱傭協議（“當前 協議”）的當事方。雙方希望修改和重申目前的協議。本協議規定根據本協議規定的條款和條件繼續僱用行政人員 。本協議的執行和交付已獲得公司董事會（“董事會”）的正式授權 。本協議將於 2023 年 2 月 24 日（ “生效日期”）生效。

因此，現在，公司和高管 都打算接受法律約束，特此相互訂立協議並達成以下協議：

1。就業 和任期。

1.1. 就業。公司特此 繼續僱用高管：

高管特此接受在上述期限內繼續在公司工作 。

1.2. 期限。 根據本協議，行政人員的任期（“期限”）應從生效日期開始，並於 2025 年 7 月 31 日結束 。

2。職責。 行政部門應盡最大能力和精力（合理的病假和休假除外）履行本協議規定的職責 ，具體如下：

2.1. 作為 總裁兼首席執行官。作為總裁兼首席執行官，高管應向董事會報告 並履行與其職位相符的職責。

2.2. 作為 執行主席。作為執行主席，高管應向公司董事會報告並履行與繼任首席執行官商定的 職責，但須經董事會批准，並符合董事會通過的 治理準則。人們承認，預計執行主席的平均職責將少於或等於全職工作的 50%（每週約20小時）。據明確瞭解，有幾周 可能需要更多時間，有些則需要更少的時間，而且執行主席只能在公司要求的範圍內提供服務 。另據承認，除非高管明確同意，否則執行主席的職責將在不承擔任何普通義務 出現在公司位於馬薩諸塞州貝弗利或其他地方的設施中。

2.3. 高級 顧問。作為高級顧問（在她退出董事會成員職務後），高管應向繼任的公司首席執行官 彙報並履行與繼任首席執行官商定的職責。人們承認， 高級顧問的平均職責預計將低於或等於全職服務的 12.5%（每週大約 5 小時）。據明確瞭解，有幾周可能需要更多時間，有些則更少，而且高級顧問只能在公司要求的範圍內提供 服務。另據承認，除非高管明確同意 ，否則在公司位於馬薩諸塞州貝弗利或其他地方的設施中，在履行高級顧問職責時將不需要 在公司位於馬薩諸塞州貝弗利或其他地方的設施中擔任任何普通職務。

2.4. 其他 活動。此外，行政部門可以花費合理的時間，讓 (i) 擔任與公司或其子公司（包括但 不限於（A）半導體設備和材料國際董事會、行政部門 目前任職的行業組織（“SEMI”）和（B）其他營利性組織或非營利組織的董事會 的利益衝突的任何組織 的委員會的董事或成員，包括其他上市 公司）；（ii）完成演講活動（iii）參與慈善和社區活動；(iv) 參與 行業和貿易組織活動；以及 (v) 管理她的個人投資；前提是此類活動不會對她正常履行本協議規定的職責和責任產生實質性影響 。

3。基本 工資。對於高管在第1.2段規定的僱傭期內根據本協議為公司提供的服務，公司應按每年至少669,000美元的費率向高管支付基本工資，根據公司的常規薪資慣例（但頻率不少於按月）支付。根據公司的任何額外薪酬或激勵計劃可能向高管 支付的任何薪酬，或者董事會 （或其相應委員會）可能不時以其他方式批准的任何報酬，應不包括高管根據本協議應獲得的基本工資。

4. 故意省略 。

5。其他 好處。除了根據本協議第 3 款向高管支付的基本工資外，高管還有權獲得 ：

5.1. 參與 參與計劃。根據董事會批准的績效目標和目的的實現情況 ，高管有權在2023年和2024財年獲得獎勵機會；如果實現目標績效，則該目標金額應為首席執行官和執行主席當年獲得的基本工資的100％，如果實際績效超過或低於公司規定的目標績效目標和目的，則更大或更少的金額高級管理人員的獎金安排 。作為高級顧問獲得的基本薪酬不應包含在確定2024年的獎金機會時。 任何此類獎金應在獲得董事會批准後歸屬，既得獎金應由公司在不遲於此類獎金髮放的財政年度結束時支付。在任期內，高管還有資格參與 公司不時維持的各種福利計劃，包括任何符合條件和不符合條件的養老金、 補充養老金、殘疾、醫療、牙科、團體人壽保險、補充人壽保險、商務旅行保險、 病假以及其他類似的退休和福利計劃、計劃和安排，但須遵守此類計劃的條款。

5.2. 股權 補助金。只要高管遵守本協議：

5.3. 附帶福利 福利。除上述規定外，高管有權獲得不低於公司其他高級管理人員的職位、附帶福利和其他類似福利 。這包括使用 Axcelis IT 設備、電子郵件和 內聯網訪問。在2023年年度股東大會當天或之前，高管應騰出其目前的辦公室，並將獲得 進入鄰近的執行辦公室的權限。在擔任執行主席期間，高管將繼續作為執行管理團隊的成員和董事會成員在Axcelis 網站上列出。

5.4. 費用 報銷。公司應在進行適當核算後，向高管償還她在履行本協議規定的職責過程中產生的合理業務費用和支出 。雙方同意，在高管任職期間 擔任執行主席兼高級顧問期間，公司將報銷高管在商定前往公司設施或其他地方代表公司前往公司設施或其他地方（包括但不限於公司董事會 會議和SEMI董事會會議）時居住在任何地方 的差旅費。

5.5. 度假。 在本協議期限內，根據公司適用於高級管理人員的政策，高管有權在本協議期限內的第一年和連續每年 享受休假和帶薪休假，或在董事會批准的更長時間內，不減少 的工資或其他福利。

6。僱員的契約 。為了促使公司簽訂本協議，高管特此達成以下協議：

6.1. 保密。 除非法律要求以及高管在履行公司職責的正常過程中的行為 且高管真誠地認為符合公司的最大利益，否則高管應保密， 在任期內或之後，不得向任何其他個人或實體泄露有關公司的任何商業機密或其他機密信息 ，或任何其他個人或實體其子公司或關聯公司，這些信息在其他方面尚未為人所知。

6.2. 記錄。 與公司或其任何子公司 或關聯公司的業務和事務有關的所有類型和描述的所有文件、賬簿和記錄，無論是否由高管編寫，均為公司的唯一和專有財產，高管應根據公司的要求隨時將其移交給公司。

6.3. 更改控制協議 。高管承認，她受高管與公司之間於2017年3月1日生效的控制權變更遣散協議 的約束並受其約束（此類協議和任何類似的 繼任協議，在此稱為 “控制權變更協議”）。公司同意，如果公司在 2025 年 7 月 31 日之前或之日無故終止了高管 的工作，或者在 可能發生控制權變更或控制權變更後的 24 個月內（此類條款在 控制權變更協議中定義），則高管將有權獲得《控制權變更協議》中描述的遣散費， 受其條款和本協議第15段的條款約束；但前提是儘管如此控制權變更協議 第 2 節，其期限將延長至 2025 年 7 月 31 日晚些時候或潛在控制權變更期結束，而且 《控制權變更協議》第 4 節中的契約將不要求行政部門在 2025 年 7 月 31 日之後繼續工作。

7。終止。 除非根據本第 7 款的以下規定提前解僱，否則公司應繼續僱用高管 ，高管應在第 1.2 段規定的整個任期內繼續受僱於公司。本協議第8段規定了在高管在2025年7月31日之前終止本協議下的僱傭關係的情況下 公司的某些義務。 本第 7 段和第 8 段中使用的某些大寫術語定義見下文第 7.3 段。

7.1. 死亡 或殘疾。除非此處另有明確規定，包括但不限於第 8.1 段中關於公司某些解僱日期後付款義務的規定，否則如果高管死亡或高管殘疾，高管的僱傭應在解僱之日立即終止 。就本協議而言，“殘疾” 是指高管因精神或身體疾病或傷害而連續180個工作日缺席 公司的高管職務，這種疾病或傷害由公司或其保險公司選定的醫生確定 是完全永久的，並且是行政部門或高管的 法定代表人合理接受的。如果出現殘疾，在解僱之日之前，根據本協議 3 段支付給高管的基本工資應減去根據公司任何 殘疾政策或計劃向高管支付的殘疾津貼金額（如果有）。

7.2. 公司解僱或有正當理由辭職的通知 。根據下文規定的程序，公司 可以有理由或無理由解僱高管在本協議下的工作，高管可以出於正當理由或其他原因辭去本協議 下的工作。公司對高管的任何解僱或高管出於正當理由的辭職均應通過根據本協議第10段向高管（如果解僱）或公司（如果是高管辭職） 發出的解僱通知來告知 。就本協議而言，“終止通知” 是指 書面通知，其中：

如果沒有向高管發出解僱通知，任何聲稱因故終止高管僱傭關係的 均不生效。高管未能在向公司發出的任何解僱通知 中陳述任何有助於證明正當理由的事實或情況，不得放棄高管在本協議下的任何權利 ，也不妨礙高管在執行高管在本協議下的權利時陳述此類事實或情況。

7.3. 定義。 就本第 7 段和第 8 段而言，以下大寫術語的含義如下：

7.3.1。“應計 債務” 是指截至解僱之日，(A) 高管根據第 3 段支付的截至解僱之日為止的基本工資，(B) 高管截至解僱之日應計的任何獎金、激勵性薪酬、遞延 薪酬和其他現金補償的總和，以及任何 (C) 截至解僱之日，行政部門應計的休假工資、費用報銷和其他現金應享待遇，但前提是此前未支付。

7.3.2。“原因” 是指 (A) 在董事會向高管提出實質性業績的書面要求 具體指明董事會認為 高管沒有實質性履行高管職責的方式（因殘疾導致的任何此類失誤除外），高管故意持續未能履行高管對 公司或其關聯公司的實質性職責，或 (B) 高管故意參與非法行為 或嚴重的不當行為這對公司造成了損害。就本條款而言，除非行政部門出於惡意或沒有合理的 認為高管的作為或不作為符合公司的最大利益，否則高管 的任何作為或不作為均不得被視為 “故意”。根據董事會正式通過的決議賦予的權力 或根據公司高級管理人員或 公司法律顧問的建議採取的任何行為或不採取行動，均應最終推定為高管本着誠意採取或不採取行動，這符合公司的最大利益。除非向行政部門交付 董事會全體成員中不少於三分之二的贊成票正式通過的決議副本（在向行政部門發出合理通知並且行政部門 有機會與律師一起聽取意見之後），否則不得將高管的終止工作視為有理由董事會），認定，根據董事會的真誠看法， 高管是犯有本第 7.3.2 段上文 (A) 或 (B) 分段所述的行為，並詳細説明其細節 。

7.3.3。“解僱日期 ” 是指 (A) 如果公司有理由解僱高管或 高管有正當理由辭職，則為高管（如果是解僱）或公司（如果是此類辭職） 收到解僱通知的日期，或該解僱通知中規定的任何稍後允許的日期（視情況而定），(B) 在 行政部門無故解僱或行政部門無正當理由辭職的事件，行政部門的日期 （就解職而言）或公司（在辭職的情況下）收到此類終止僱傭關係的通知，（C）在 中收到高管死亡的通知，（D）如果根據第 7.1 款因殘疾而終止高管 的工作，則為高管收到此類解僱的書面通知之日。

7.3.4。“正確 理由” 是指行政部門未經行政部門書面同意，在滿足以下一項或多項條件後的一年內 自願解僱，但須遵守以下通知和補救要求：

高管必須不遲於公司最初存在的 90 天內，向公司通知 “正當理由” 條件的存在。公司應有 60 天的時間來治癒 引起此類通知的病症。如果公司在上述 規定的期限內治癒或糾正了特定的正當理由條件，則就終止通知中規定的具體條件而言，不得認為存在正當理由終止。

8。終止時公司的義務 。

8.1. 因故解僱 、無正當理由辭職、死亡或殘疾。在本協議期限內，如果行政部門因故解僱 行政人員或無正當理由辭職，或者如果本協議因行政人員死亡或殘疾而根據 第 7.1 段終止：

8.2. 無故解僱 或有正當理由辭職。在本協議期限內，如果行政部門不是因為 (x) 原因（即無原因）或（y）殘疾而被解僱，或者如果高管辭職有正當理由：

8.3. 付款 絕對義務。公司支付此處規定的款項和安排的義務應是絕對的 和無條件的，不受任何情況的影響，包括但不限於公司對高管或任何其他方可能擁有的任何抵消、反訴、補償、 抗辯或其他權利。 公司根據本協議支付的每筆款項均為最終款項，公司不得出於任何原因尋求從高管或 有權獲得的任何人那裏收回全部或任何部分此類款項。

8.4. 第 409A 節。 儘管本協議中有任何相反的規定，但如果高管是經修訂的1986年《美國國税法》（“該法”）第409A條所指的 “特定僱員”，以及行政人員離職時根據該法頒佈的最終法規和任何指導方針（“第409A條”），以及應支付給高管的遣散費 和離職補助金（如果有），根據本協議，根據第 409A 條的定義，此類付款被視為 “不合格的遞延薪酬” ，此類付款和應向高管發放福利，第一份工資單為六個月 ，且在高管解僱之日後的第二天。

8.5. 合同規定的 福利權。本協議規定並賦予行政部門享受她 根據本協議有權享受的福利的合同權利。高管沒有義務尋求其他工作以減少根據本協議任何條款應付的款項或作出的安排 ，在任何情況下，獲得任何此類工作均不影響 公司支付本協議要求的款項和安排的義務的減少。

9。綁定 效果。本協議對高管的繼承人和代表以及公司的繼任者 和受讓人具有約束力並對他們有利。公司應要求其全部或大部分資產的任何繼承人（無論是直接還是間接，通過收購、合併、重組、 合併、收購財產或股票、清算或其他方式），以令行政部門合理滿意的形式和 實質內容明確假設和同意以相同的方式履行本協議， 的履行程度與公司在沒有此類繼承的情況下必須履行本協議的程度相同發生了。不管 此類協議是否得到執行，根據法律規定，本協議對公司的任何繼任者具有約束力 ，就本協議而言，該繼承人應被視為 “公司”。

10。通知。 本協議下的所有通知、請求、要求和其他通信均應採用書面形式，如果在 手遞或通過頭等掛號郵件在美國大陸境內郵寄，要求退貨收據，郵費已預付，地址為 ，則應視為已正式發出：

致董事會或公司，至：

Accelis Technologies

櫻桃山大道 108 號

馬薩諸塞州貝弗利 01915

致行政部門，至：

Mary G. Puma

c/o Axcelis Technologies,

櫻桃山大道 108 號

馬薩諸塞州貝弗利 01915

可以通過向另一方 發送書面通知來更改地址，通知地址必須是該方最後記錄的地址。

11。沒有 分配。除非第 9 款明確規定，否則本協議不可由任何一方轉讓，且根據本協議支付的任何款項均不得預期、轉讓、出售、轉讓、轉讓、質押、抵押或其他費用。

12。在對應項中執行 。本協議將由本協議雙方在兩個或多個對應文件中籤署，每個對應文件均應被視為 原件，但所有這些對應文件應構成同一份文書，所有簽名均不必出現在任何一個 對應文件上。

13。管轄權 和適用法律。與本協議有關的爭議的管轄權完全屬於馬薩諸塞州聯邦 的法院，本協議應根據馬薩諸塞州聯邦 的當地法律進行解釋和解釋，此類法律的法律衝突條款除外。

14。可分割性。 如果任何具有管轄權的法院裁定本協議的任何條款因任何原因無效或不可執行， 此類判決不得影響、損害或使本協議的其餘部分無效。

15。先前的 諒解。本協議修訂並重申了截至生效日期的全部現行協議，體現了本協議各方對 的全部理解，取代了雙方之間關於本協議標的 的所有其他口頭或書面協議或諒解，包括當前協議，但不包括截至2017年3月1日 且自2019年11月6日起生效的控制權變更遣散協議，即雙方之間的賠償協議 2012 年 2 月 28 日 的高管和公司以及高管股權退休計劃。如果高管在控制權潛在變更 期間或控制權變更（定義見此類控制權變更協議）後終止工作，則高管有權獲得本協議或控制權變更協議下金額和福利中較大的 ，但高管不得獲得這兩項協議下金額和福利的總和 。如果她有權根據控制權變更協議 和本協議獲得金額和福利，則根據控制權變更協議應支付的金額和收益（如果有）應視為已先支付，如果根據本協議應付的金額和福利大於根據控制權變更協議 實際支付的金額和福利，則應根據本協議支付超額部分。本協議中的任何內容均無意也不得被解讀為 對控制權變更協議（除非第 6.3 段另有規定）、賠償協議或任何未兑現的 股權獎勵協議（第 5.2 (a) 段另有規定）的修改，此類協議應根據各自的條款在 中完全生效和生效。除非以書面形式並由本協議各方 簽名，否則不得對本協議進行任何更改、修改或修改。本協議中的標題僅為便於參考，不得解釋為本協議 的一部分，也不得限制或以其他方式影響本協議的含義。

自生效之日起，本協議各方已簽署並交付 本協議，以昭信守。