附錄 23.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們同意將我們2023年3月27日報告的S-8表格中的CVD設備公司的本註冊聲明中以提及方式納入我們對CVD設備公司截至2022年12月31日和2021年12月31日的合併財務報表以及截至2022年12月31日和2021年12月31日的CVD設備公司截至2022年12月31日的年度的合併財務報表的審計。

/s/ Marcum llp

Marcum llp

紐約州梅爾維爾

2023年3月27日