附件32.1

Amtech Systems，Inc.及其子公司

根據以下條件進行認證

《美國法典》第18編第1350條，

根據以下規定通過

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

關於AMTECH Systems，Inc.(以下簡稱“公司”)於2022年9月30日向美國證券交易委員會提交的截至2022年9月30日的Form 10-K年度報告(以下簡稱“報告”)，本人，公司首席執行官Michael Wang，根據《美國法典》第18編的規定，謹此證明。1350，根據黨衞軍通過。《2002年薩班斯-奧克斯利法案》第906條：