附件21.1
Amtech Systems,Inc.及其子公司
註冊人的子公司
名字 |
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成立為法團的司法管轄區 |
布魯斯技術公司 |
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馬薩諸塞州 |
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BTU歐洲有限公司 |
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英國 |
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BTU國際公司 |
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特拉華州 |
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BTU有限公司(上海) |
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中國 |
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BTU海外有限公司。 |
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特拉華州 |
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北通海外(上海)有限公司。 |
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中國 |
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InterSurface Dynamic公司 |
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康涅狄格州 |
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P.R.霍夫曼機械產品公司 |
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亞利桑那州 |
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坦普拉斯系統公司 |
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德克薩斯州 |