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附件32.1

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Axcelis技術公司

特等行政幹事的證書

根據《美國法典》第18編第63章第1350節

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下面簽署的特拉華州公司Axcelis Technologies，Inc.的首席執行官特此為《美國法典》第18編第63章第1350節的目的(由2002年《薩班斯-奧克斯利法案》第906節實施)證明如下：

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本10-Q表格季度報告完全符合1934年《證券交易法》第13(A)或15(D)節(《美國聯邦法典》第15編78M或78O(D)條)的要求，其中包含的信息在所有重要方面都公平地反映了公司的財務狀況和經營結果。

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茲證明下列簽署人已於2022年11月3日簽署本證書。

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