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附件10.1

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Axcelis技術公司

2012年度股權激勵計劃

股東於2012年5月2日、2013年5月14日、2014年5月13日、2015年5月13日、2016年4月；根據2016年6月30日的反向股票拆分調整；2017年2月15日經董事會修訂(無需股東批准)；2017年5月16日經股東批准；2018年2月13日經董事會修訂(無需股東批准)；2019年5月14日經股東修訂；2022年8月11日董事會修訂(無需股東批准)

1.目的.

Axcelis Technologies，Inc.2012股權激勵計劃(“計劃”)的目的是吸引和留住有望對公司及其關聯公司做出重要貢獻的人員，為他們實現公司目標提供激勵，並通過授予公司普通股獎勵來參與公司的增長。本文中使用的某些大寫術語在下面的第7節中定義。

2.行政管理.

本計劃應由委員會管理，但董事會可在任何情況下履行委員會在本條例下的任何職能。委員會有權通過、更改和廢除其不時認為適宜的管理本計劃運作的行政規則、指導方針和做法，並有權酌情解釋本計劃的規定。委員會在此作出的決定是終局的，具有約束力。在適用法律的規限下，委員會可授權一名或多名公司高管向非報告人或承保員工的參與者授予獎勵的權力，並作出與此有關的所有決定，但條件是委員會應確定受該等獎勵約束的最高股份數量。

3.資格.

本公司或任何聯屬公司的所有董事及所有僱員及顧問，有能力為本公司的成功業績作出貢獻，但已不可撤銷地選擇不符合資格的任何人士除外，均有資格參與該計劃。

4.可供獎勵的股票.

(a)數量。根據第4(B)款的調整，根據該計劃下的獎勵(包括獎勵股票期權)，最多可發行總計7,762,500股普通股。為了計算本協議下的股份：

i.作為認股權或股票增值權以外的任何獎勵而發行的股票數量應乘以1.5倍；

二、參與者為行使期權或股票增值權而出價支付的流通股、公司在公開市場回購的股票以及公司在行使或授予獎勵時為履行行使或預扣税款義務而扣留的股票，不得從根據本獎勵發行的普通股中扣除；

三、根據本計劃授予的任何獎勵的股票，如果由於獎勵到期而未發行、未行使而終止或全部或部分被沒收，則可接受新的獎勵，但不被視為超過該最高金額；

四、在截至2012年5月2日，根據2000股票計劃發行的股票中，由於獎勵到期、終止而未行使或被沒收而未根據獎勵發行的股票，可根據本計劃接受新獎勵(獎勵股票期權除外)，但不被視為超過該最高金額；以及

v.根據本計劃發行的股份，由於承擔或替代被收購公司的未償還贈與，不應減少根據本計劃可供發行的股份數量

根據該計劃發行的股份可由授權但未發行的股份或庫藏股組成。

(b)調整。在任何股權重組時，無論是股票股息、資本重組、拆分或股份組合，或其他方式，根據本計劃可頒發獎勵的股份數量、接受獎勵的股份數量、任何獎勵的行使、購買或轉換價格以及第5(C)款中的個人授予的限制應按比例進行調整，但任何獎勵的股份數量應始終為整數。如委員會認為任何其他重組、資本重組、合併、分拆或其他公司交易影響普通股，以致需要作出調整以保留該計劃擬提供的利益，委員會應公平地調整根據該計劃可予頒獎的任何或全部股份數目及種類、須予獎勵的股份數目及種類、任何獎勵的行使、購買或換股價格，以及第5(C)款中有關個別授予的限額，但須受獎勵的股份數目始終為整數。如認為適當，委員會可就全部或部分未決裁決規定現金支付，以代替或補充任何此類調整。根據本款作出的任何調整，就獎勵股票期權而言，應受守則所要求的任何限制的約束。

5.該計劃下的獎勵.

(a)獎項的類型。委員會可授予不受限制或沒收的普通股的期權、股票增值權、限制性股票、限制性股票單位、股票等價物和普通股獎勵。任何此類贈款的有效性可能取決於時間的流逝、任何業績目標的實現或任何其他事件的發生。

(b)獲獎條款和條件。

(i)參與者；術語。委員會將選出獲獎的參賽者，並確定每個獎項的條款和條件。在不限制前述規定的情況下，但在符合本計劃和適用法律的其他規定的情況下，委員會應確定(A)每項獎勵的普通股數量或確定該數量的方式，(B)參與者接受或行使獎勵應支付的價格或確定該價格的方式，(C)獎勵可授予或行使、結算或轉讓的一個或多個時間，(D)授予、行使、結算或轉讓獎勵的任何業績目標、限制或其他條件，(E)獎勵是否可以現金、普通股或公司的其他證券、獎勵或其他財產的形式支付，以及其款額或價值的計算方式；。(F)任何限制期的期限或任何其他可沒收獎勵予公司的情況；。(G)參與者的傷殘、死亡、退休或以其他方式終止受僱或其他服務對獎勵的影響；及。(H)參與者或參與者的法定代表在何種程度及期間，監護人或指定受益人可以收到賠償金或行使賠償金項下的權利。除本合同或特定獎項另有規定外，委員會可在頒獎時或之後的任何時間就某一獎項作出任何決定或採取任何行動。

(Ii)期權和股票增值權。激勵性股票期權只能授予根據本準則有資格獲得此類期權的人員。任何期權或股票增值權的行權價不得低於授予日普通股公平市值的100%；但為取代前僱主授予因準則第424(A)節所述的交易而有資格獲得本合同項下獎勵的人的期權，根據該節的規定，可具有較低的行權價。任何期權或股票增值權的期限不得超過七(7)年。激勵股票期權不得在生效日期後十年以上授予。委員會應決定普通股價值超出股票增值權行使價格的計算方式。

(Iii)限制性股票和限制性股票單位。在適用的限制期內，除經委員會許可外，不得出售、轉讓、轉讓、質押或以其他方式抵押限制性股票和受限制性股票單位限制的股票。限制性股票單位可以用普通股或現金結算，由委員會決定。

(Iv)最低歸屬要求。儘管有第5(B)(I)條或第6(E)條的規定，關於授予任何贈款接受者的獎勵：

(C)以實現業績目標為基礎的沒收限制的授予、解決或失效應以至少一年的業績期限為基礎；

但上述限制不適用於(1)與公司終止僱用或終止參與者的其他服務或由於參與者的殘疾、死亡或退休有關的沒收限制的歸屬、和解或失效；(2)也不妨礙委員會(Y)行使其自由裁量權，在第5(B)(Viii)條所設想的交易中加速任何獎勵的授予，或(Z)為獎勵的歸屬、和解或失效制定一個較短的時間表，以換取或代替獲得等額工資的權利，獎金或其他報酬。

(v)支付行使價款。委員會應決定任何裁決的審議形式和支付方式，如有的話。在不限制前述規定的情況下，委員會可在不限制前述規定的情況下，允許以全部或部分現金或交出在交出當日按其公平市價估值的普通股(可以是從各自獎勵或任何其他獎勵中保留的股份)，或委員會可能決定的其他合法代價，包括金融或經紀機構的支付承諾，進行支付。本公司可接受參與者以委員會可接受的形式作出的證明，證明他或她擁有股份，以代替實際交付股票，並記錄將予認購的股份，且無申索及其他產權負擔。

(Vi)紅利。根據委員會的酌情決定權，任何獎勵可規定，獎勵相關普通股的股息或股息等價物可在普通股股票發行之前、歸屬或行使時(如適用)計入參與者的貸方。然而，該等股息或股息等價物可(以現金、普通股股份或委員會指定的計劃獎勵形式)支付予參與者，並可由委員會決定是否連同利息支付，但前提是此等獎勵歸屬及普通股股份是在歸屬後或歸屬及行使時(如適用)發行的。獎勵未在獎勵期滿前發行的普通股的紅利或其他分配的價值將被沒收。

(Vii)終止和沒收。任何獎勵的條款可包括委員會認為符合本公司最佳利益的有關終止獎勵及/或沒收或收回先前根據獎勵發出的與競爭或其他有損本公司的活動或情況有關的任何股份、現金或其他財產的持續條文。在不限制前述規定的情況下，任何獎勵的條款須受本公司在授予該獎勵之前或之後有效的任何“追回”、“收回”或類似政策所規限，並應被視為自動修訂以納入該等條款。

(Viii)某些特別的交易。委員會可酌情規定，在授予時或之後的任何時間，在資本重組、股票收購、合併、合併或其他形式的公司交易中，除

如果公司是尚存的、繼續存在的、繼承人的或購買實體(“交易”)，則倖存的、繼續存在的、繼承人或購買實體或該實體的母公司或子公司可在未經參與者同意的情況下承擔公司在緊接交易前未完成的任何獎勵或其部分下的權利和義務，或就該實體本身的股票、其他財產或現金提供實質等值的獎勵，在上述兩種情況下，均可公平地調整受獎勵和行使所制約的股份或其他資產的數量和類型。關於任何獎勵的購買或轉換價格，根據公司股東在交易中收到的對價。任何該等裁決如非由委員會承擔或取代，應在交易完成時終止，並按委員會規定的條款(如有)予以終止。儘管如上所述，如果公司股東在一項交易中收到的對價是全部或主要是現金，以換取他們的普通股股份，那麼，為了維護參與者在未償還獎勵項下的權利，委員會應在不需要任何參與者同意的情況下，(A)使緊接交易之前尚未完成的獎勵的任何不可行使或未歸屬部分在交易之前變得完全可行使和歸屬(但僅在交易完成時有效)，而截至交易完成時尚未行使的任何期權和股票增值權應立即終止或(B)規定向參與者支付現金、交易另一方實體的股票或其他財產，其公平市場價值等於歸屬時應收到的金額(如果有), 若獎勵的任何不可行使或未歸屬部分變得完全可行使及歸屬，而獎勵已就交易行使或支付(減去(但不低於零)該獎勵項下的行使或購買每股價格(如有))，獎勵即告終止。如該等代價的任何部分可在交易中由公司股東以或有或延遲方式收取，則委員會可根據委員會對該等代價未來可能支付金額的現值的善意估計，全權酌情釐定交易時的每股公平市價。

在資本重組、股票收購、合併、合併或其他形式的公司交易中，如果公司是倖存的、持續的、繼承人或購買實體，委員會可根據第4(B)條對尚未支付的獎金進行公平調整。

(Ix)文檔。本計劃下的每個獎項應以委員會不時規定的格式的文件證明，並提交給參與者，或由參與者簽署和交付，具體説明獎項和CON的條款和條件t遵守委員會認為為實現本計劃的目的或遵守適用的法律和會計原則而必要或適宜的、不與本計劃規定相牴觸的其他條款和條件。任何此類文件只能以電子格式保存。

(x)總體而言。任何獎項均可單獨、附加或與任何其他獎項相關。每一類獎項的條款不必相同，委員會也不必統一對待參與者。除非按照委員會決定的條款和條件以及在委員會決定的範圍內，否則獎勵不得轉讓，但獎勵不得按價值轉讓，而獎勵股票期權只能在一定範圍內轉讓

在守則允許的範圍內。對任何須繳納美國所得税的參與者的獎勵，不得規定延期支付不符合《守則》第409a條規定的補償。對授予、行使、結算或轉讓獎項的任何業績目標、限制或其他條件的實現或滿足，應由委員會決定。

(c)對個人助學金的限制。為滿足守則第162(M)節所指的“績效補償”的要求，在任何財政年度可授予參與者的普通股股票數量不得超過312,500股，但可根據第4(B)款進行調整。在任何以現金結算的績效獎勵的情況下，任何參與者在績效期間的任何一年不得獲得超過1,000,000美元的獎勵。

6.一般條文.

(a)預扣税金。參與者應不遲於產生納税義務的事件發生之日之前向公司支付法律規定須就本計劃下的獎勵預扣的任何税款，或為委員會提供令委員會滿意的支付準備金。本公司及其關聯公司可在法律允許的範圍內，從根據本計劃或以其他方式應付給參與者的任何類型的任何付款中扣除任何此類税收義務。委員會酌情決定，法律規定的與獎勵有關的最低納税義務可以全部或部分以普通股的形式支付，包括從獎勵中保留的創建税收義務的股份，在保留或交付之日按其公平市值估值。

(b)法律合規性。本公司不會被要求發行任何普通股或根據本計劃採取任何其他行動，除非本公司信納法律或當時普通股上市的任何證券交易所的所有要求已經或將會得到遵守，委員會可對參與者在本計劃項下的權利施加其認為必要或適宜遵守任何該等要求的任何限制。

(c)非美國參與者。獎勵可授予非美國國民或在美國境外受僱的參與者，其條款和條件不同於本委員會認為為實現本計劃的目的或為遵守適用法律所必需或適宜的條款和條件。在必要或適宜的範圍內，委員會可通過本計劃下的子計劃，向非美國國民或僱員頒發獎勵。

(d)不包括用於福利目的的獎勵。參與者根據本計劃條文收取的獎勵及其他付款，不得計入本公司或其任何聯屬公司維持的適用於該參與者的任何退休金、團體保險或其他福利計劃下的福利釐定，除非該等計劃的條款規定或董事會釐定的情況除外。

(e)裁決的修訂、交換和回購.

(i)除以下第(Ii)和(Iii)款另有規定外，委員會可修改、修改或終止任何未決裁決，包括但不限於更改歸屬、行使或終止的日期。

除非本計劃或本獎項的條款允許採取這種行動，委員會認為這種行動是法律或證券交易所規則所要求的，或者委員會在考慮到任何相關行動後，認為這種行動不會對參與者造成實質性的不利影響。

(Ii)儘管在任何旨在滿足《守則》第162(M)節所指“業績補償”要求的獎勵中實現了業績目標，委員會仍可減少(但不增加)按某一業績水平應支付的數額，以考慮委員會可能認為相關的其他因素。

(Iii)儘管如此，未經本公司股東進一步批准，(A)委員會不得授權修訂任何尚未行使的購股權或股票增值權以降低行權價，(B)不得取消任何購股權或股票增值權，代之以可以較低行權價行使的普通股獎勵，及(C)除非在上文第5(B)(Viii)節有關交易的有限情況下，否則不得取消獎勵以換取本公司向獎勵持有人支付現金。

7.某些定義。如本計劃所用：

“聯屬公司”是指本公司直接或間接擁有總投票權的50%或以上或擁有委員會確定的重大經濟利益的任何商業實體。

“獎勵”是指授予第5(A)節所述的普通股股份或與股份有關的權利。

“董事會”是指公司的董事會。

“法典”係指不時修訂的1986年國內税法或任何後續法律。

“委員會”指董事會委任的一個或多個委員會，負責管理計劃或計劃的某一特定部分。每個該等委員會須由不少於兩名董事會成員組成，他們須符合董事會不時指定的準則。

“普通股”是指公司的普通股，面值為0.001美元。

“公司”是指特拉華州的Axcelis技術公司。

“承保僱員”係指守則第162(M)條所指的“承保僱員”。

“授予日期”是指根據適用法律以及公司的公司註冊證書和章程為有效授予獎項而滿足的所有要求的日期。

“指定受益人”是指參與人以委員會確定的方式指定的受益人，在參與人死亡的情況下收取應付款項或行使參與人的權利。未經參與人有效指定的，指定受益人是指參與人的法定代表人。

“生效日期”不時指計劃通過的最近日期，或股東批准計劃的最近日期(包括經修訂的計劃的批准)，因為此類術語在《守則》第422條的規定中使用。

“交易法”係指不時修訂的1934年證券交易法或任何後續法律。

“高級管理人員”具有交易法規則3b-7或任何後續條款中所給出的含義。

就普通股或其他財產而言，“公平市價”是指按委員會不時確定的方法確定的其公平市價。除非委員會真誠地另有決定，普通股在任何日期的每股公允市值應指(A)如果普通股當時在國家證券交易所上市或獲準交易，(I)普通股在當時上市或獲準交易的主要國家證券交易所在該日期最後報告的銷售價格，(Ii)如果在該日期沒有進行這種報告銷售，則為該日期該交易所的收盤出價和要價的平均值，或(Iii)如果(I)和(Ii)都不適用，(B)如果普通股當時在場外交易市場交易，則為《華爾街日報》或委員會選擇的其他適當出版物所報道的場外交易市場在該日期的收盤出價和要價的平均值。

“激勵性股票期權”是指符合本準則第422節或任何後續條款及其下任何規定的要求的期權。

“選擇權”是指購買普通股的權利，如果委員會規定，也可以是獎勵股票選擇權。

“參與者”是指委員會根據本計劃選出的獲獎者。

“業績目標”，就旨在滿足守則第162(M)條所指的“業績報酬”要求的獎勵而言，是指委員會根據下列一項或多項標準確定的一個或多個客觀業績目標：收入；收入增長；銷售；費用；利潤率；淨收入；每股收益或每股收益；現金流；股票價格；股東回報；投資回報；投資資本、資產或權益回報；税前或税後利潤；營業利潤；營業利潤；研發投資回報；市值；質量改進；市場份額；週期縮短；客户滿意度測量；戰略定位或

營銷計劃；市場滲透或擴張；業務/信息系統改進；費用管理；基礎設施支持計劃；人力資源計劃；客户計劃；技術開發計劃；與收購或資產剝離有關的目標，或上述目標的任何組合，包括但不限於基於任何此類衡量標準與同行團體或市場指數相關的目標，可能是參與者所特有的，也可能全部或部分基於參與者所在的部門、部門、業務線、子公司或其他業務部門的績效，無論是否合法組成，參與者所在部門、部門、業務線、子公司或其他業務部門的績效或總體上的公司績效。

“業績期間”是指委員會指定的任何至少一年的服務期間，適用於旨在滿足“業績報酬”要求的獎勵。

“報告人”是指受“交易法”第16條約束的人。

“限制期”是指本公司可能被沒收獎勵或其任何部分的任何期限。

“限制性股票”是指公司可以沒收的普通股。

“限制性股票單位”是指可被沒收的、未來以現金、普通股或公司其他證券、獎勵或其他財產形式支付的普通股價值的權利，是公司的一種無資金和無擔保債務。

“股票增值權”是指獲得超過該權利行使價格的普通股價值的權利。

“股票等價物”是指根據普通股的全部或部分價值從公司獲得付款的權利，以現金、普通股或公司其他證券、獎勵或其他財產的形式支付，可包括但不限於虛擬股票、業績單位和股票增值權。

“終止參與者的僱傭或其他服務”是指參與者因任何原因自願或非自願終止在公司或關聯公司的僱傭關係，包括死亡、殘疾、退休，或由於參與者的僱主剝離或任何類似交易的結果，在該交易中，參與者的僱主不再是公司或其關聯公司之一。參加兵役或其他政府服務是否應構成“終止僱用或其他服務”，或“終止僱用或其他服務”是否應因殘疾而發生，應由委員會在各自的獎項頒發之前或之後由委員會自行酌情決定。如董事會成員或顧問並非本公司或聯營公司僱員，“終止僱用或其他服務”指因任何原因自願或非自願終止董事會服務或諮詢關係(視屬何情況而定)。

“可轉讓價值”是指以防止公司依賴證券交易委員會表格S-8(或任何後續表格)發行相應獎勵的普通股的條款進行的轉讓。

8.雜類.

(a)沒有關於服務的權利。任何人不得根據本協議要求或權利獲獎。本計劃的採用、維護或運作以及本合同項下的任何獎勵，均不賦予任何人關於其繼續受僱於公司或任何關聯公司或在公司或任何關聯公司繼續為其提供其他服務的任何權利，也不得幹擾公司或任何關聯公司隨時終止或以其他方式更改服務條款的權利，包括但不限於將任何人從公司或任何關聯公司內的一個職位提升、降級或以其他方式重新分配到另一個職位的權利。除非委員會在任何情況下另有規定，就本計劃而言，當聯屬公司不再是本公司聯屬公司時，參與者與聯屬公司的服務應視為終止。

(b)沒有作為股東的權利。除適用獎勵條款另有規定外，任何參與者或指定受益人在成為該計劃下的任何普通股持有人之前，均不享有作為股東的任何權利。被授予普通股的參與者在獎勵時將被視為該普通股的持有者，除非適用的獎勵中另有規定。

(c)圖則的修訂。董事會可隨時修訂、補充根據第6(C)條採納的子計劃、暫停或終止計劃或其任何部分，但須經董事會認為為遵守任何税務或監管規定而必需或適宜的股東批准。