附件5.1

女士們、先生們：

FormFactor，Inc.是特拉華州的一家公司(“本公司”)， 現向美國證券交易委員會提交S-8表格註冊説明書(“註冊説明書”) 以便根據經修訂的1933年證券法(“證券法”)登記其普通股共計4,000,000股 股(“本公司”)，每股面值0.001美元，可根據其經修訂和 重新制定的2012年股權激勵計劃(“該計劃”)發行，如註冊説明書中所述。

作為您的律師，我們已審查了我們認為為提出本意見而必要或適宜的文件、公司記錄、公職人員證書和其他文書的正本或副本。在陳述此處所表達的意見時，我們未經獨立調查或調查，假定：(br}(I)提交給我們的所有文件正本都是真實和完整的，(Ii)所有提交給我們的文件副本符合真實的、完整的正本，(Iii)我們審查的所有文件上的所有簽名都是真實的，(Iv)簽署文件的所有自然人都有 並且具有這樣做的法律能力，(V)吾等審閲的本公司公職人員及高級人員證書內的所有陳述均屬準確，及(Vi)本公司就彼等審閲的文件內的事實事項所作的所有陳述均屬準確。

基於上述，吾等認為，股份 已獲正式授權，並於本公司收到付款後根據計劃發行時及在該範圍內， 將獲有效發行、繳足股款及免評税。

我們是紐約州和加利福尼亞州酒吧的成員， 上述意見僅限於特拉華州公司法總則。

我們特此同意將本意見作為上述註冊聲明的證物提交。在給予這一同意時，我們不承認我們屬於證券法第7條規定必須徵得同意的那類人。

非常真誠地屬於你，

/s/Davis Polk&Wardwell LLP