美國

美國證券交易委員會

華盛頓特區，20549

表格SD

專業披露報告

Amtech Systems，Inc.

(註冊人的確切姓名，載於其章程中)

麗莎·D·吉布斯

480-360-3756

(公司名稱及電話號碼，包括區號)

與此報告相關的聯繫人。)

勾選相應的框以指明提交此表格所依據的規則，並提供此表格中的信息適用的期限：

《證券交易法》(17 CFR 240.13P-1)關於2021年1月1日至12月31日報告期的第13P-1條規則。

第1節--衝突礦產的披露

項目1.01衝突礦物的披露和報告

衝突礦產資源披露

Amtech Systems，Inc.(“本公司”)的本SD表格是根據1934年《證券交易法》(經修訂)下的規則13P-1提交的，其報告期為2021年1月1日至2021年12月31日。

對我們的合理原產國調查(“RCOI”)過程的簡要描述、我們的調查結果以及我們通過RCOI過程得出的決定包含在我們的Conflicent Minerals報告中，作為本表格SD的附件。

公司的衝突礦產報告的副本作為本表格SD的附件1.01存檔，並可在https://www.amtechsystems.com/investors/sec-filings/conflict-minerals.上公開獲得

第1.02項展品

根據第1.01項的要求，本公司的衝突礦產報告的副本作為附件1.01存檔。

第三部分--展品

第3.01項展品

以下證物作為本報告的一部分提交。

展品索引

簽名

根據1934年《證券交易法》的要求，註冊人已正式促使本報告由正式授權的以下籤署人代表其簽署。

Amtech系統公司

(註冊人)