附件10.3

MKS儀器公司

限制性股票單位協議

根據2022年股票激勵計劃授予

馬薩諸塞州MKS儀器公司(The MKS Instruments，Inc.)(馬薩諸塞州的一家公司)與《參與者名稱》(The Participant Name)(The Participant Name)(參與者名稱)之間達成的協議：授予日期(授予日期)。

對於收到的有價值的對價，雙方同意如下：

1.一般情況。根據 本協議和公司2022年股票激勵計劃(以下簡稱計劃)中規定的條款和條件，公司特此授予參與者限制性股票 個單位(RSU？)，數量見本協議附件A所列的公司普通股(非面值普通股)。RSU代表公司在歸屬和結算時交付股份的承諾。

(A)定義。本協議中未明確定義的大寫術語應與本計劃中賦予它們的含義相同。

(I)代碼是指經修訂的1986年美國國內税法。

(Ii)確定日期(如果適用)在本合同附件A中定義。

(Iii)傷殘是指(A)參與者因任何可由醫學確定的身體或精神損傷而不能從事任何重大有利可圖的活動，而該等損傷可預期導致死亡或可持續不少於12個月；或(B)參與者因任何可由醫學確定的可導致死亡或可持續不少於12個月的身體或精神損傷而領取本公司僱員意外 及健康計劃下為期不少於三個月的收入替代福利。

(Iv)受僱於本公司包括受僱於守則第424(E)或(F)節所界定的本公司母公司或附屬公司，在該實體為本公司母公司或附屬公司期間受僱 。

(V)沒收是指根據第2節沒收任何RSU。

(Vi)[？退休？¹指參與者年滿六十五(65)歲並在公司服務至少十(10)年(正常退休)或年滿六十(60)歲並在公司服務至少十五(Br)(提前退休)後自願終止僱傭關係。參與者的終止不應被視為由於退休，除非他或她至少在其建議的終止日期前六十(Br)(60)天向公司提供退休通知，並協助按公司的要求有序過渡職責。本公司可全權酌情豁免該等預先通知的要求。]

(Vii)歸屬日期在本合同附件A中定義。

(Viii)[？服務年限？²指自參與者最初受僱於公司以來的總受僱年數；但是，如果參與者離開或被終止受僱於公司，然後又被重新僱用，則只有在以下情況下，以前的任何受僱年限才應計入服務年限：(A)參與者在公司的缺勤不超過五(5)年，以及(B)公司僱用的總天數超過參與者缺勤的總天數。]

1	只有薪酬委員會指定的高級職員和某些其他僱員才有權在退休後加速歸屬。此外，對於這些官員和員工中的某些人來説，退休是指參與者在年滿六十(60)歲並在公司至少服務了十(10)年後自願終止僱用。

2

見上文腳註1。

(B)轉歸期。在符合本協議的條款和條件(包括下文第二節所述的沒收條款)的情況下，RSU應根據附件A中的條款進行歸屬，在每個適用的歸屬日期後儘快，但不遲於適用的歸屬日期後三十(30)天，公司應指示其轉讓代理將受RSU約束的股票存入參與者在富達股票計劃服務有限責任公司的現有股權賬户或公司已與其建立關係的其他經紀商(經紀商)，並按照所有適用條款第6條的規定付款。[扣繳]³税金。儘管有上述規定，股份可在第1(B)款規定的日期之後，僅在守則第409a條及其規定(第409a條)允許或要求的範圍內進行分配。

2.沒收。

(A) 終止僱用。如果參與者因任何原因或無故(死亡、傷殘或退休除外)而停止受僱於公司⁴)，無論是否有原因，在歸屬日期之前，參與者的所有未歸屬的RSU應自終止之日起自動沒收。就本協議而言，如本公司已以書面形式批准任何真正的請假，則不應視為已終止僱用。然而，在任何休假的情況下，公司可根據適用法律和第409a條的規定，自行決定暫停授予RSU。只要參與者繼續受僱，RSU的歸屬將不受參與者在公司的任何僱傭類型變化的影響。如果參與者因死亡、殘疾或退休而不再受僱於本公司⁵在歸屬日期之前，參與者所有未被沒收的RSU應立即完全歸屬(受附件A中任何 績效標準的約束)，不再受本協議項下的沒收條款的約束，受此類RSU約束的股份應在參與者終止日期後儘快(但不遲於30天)交付給參與者，但如果該等死亡、傷殘或退休⁶如果在確定日期之前發生，則應確定要如此歸屬的RSU的數量，並在確定日期(如果有)歸屬，受RSU歸屬部分約束的股份應在確定日期後在實際可行的情況下儘快(但不遲於三十(30)天)交付給 參與者，如果有，還提供⁷如果參與者被視為提前退休，並且 發生在確定日期之前(如果有)，則應通過按比例計算參與者受僱期間的績效期間所賺取的總金額來確定如此授予的RSU數量。

(b) [控制權的變化⁸。儘管如上所述，如果在任何歸屬日期之前，在控制權變更(定義如下)生效後的兩年內，參與者(I)被公司無故解僱(定義如下)或(Ii)出於正當理由(定義如下)終止其僱傭關係，則所有(或，如果基於績效的RSU仍受制於附件A的績效標準，則目標RSU數量(定義見附件A，參與者未被沒收的RSU的股份(如適用)將立即完全歸屬，不再受本協議項下沒收條款的約束，受該等RSU約束的股份應在終止之日起實際可行的時間內儘快(但不遲於30天)交付給參與者。就本節而言，控制權變更是指以下任何事件中最先發生的事件：(I)任何人(如1934年證券交易法(交易法)第13節和第14(D)(2)節中使用的那樣)直接或間接地成為有權在董事選舉中投票的公司股本的50%(50%)或更多的實益所有者(如交易法第13(D)節中使用的那樣)；(Ii)公司股東批准本公司的任何合併或合併，但在緊接合並或合併前持有普通股的持有人持有緊接合並或合併後尚存公司普通股的50%(50%)以上的公司合併或合併除外；或

3	刪除位於美國以外的員工。

4

見上文腳註1。

5

見上文腳註1。

6

見上文腳註1。

7

見上文腳註1。

8	只有董事會薪酬委員會指定的某些公司高級管理人員和其他員工才有權因控制權變更而加速歸屬。

2

公司股東批准將公司的全部或幾乎所有資產出售或轉讓給不屬於公司所屬的受控公司集團(如代碼第1563節所定義)的各方；前提是，如果RSU構成符合第409a條的不合格遞延補償，則控制權的此類變更也是財務法規第1.409A-3(I)(5)條所指的控制權變更。就本協議而言，因犯重罪、參與者故意不履行對公司的責任 或參與者故意行為不當。就本節而言，充分理由應指參與者在以下情況下在90天內終止僱用：(I)參與者與公司或其任何子公司的僱傭協議(僱傭協議)中所述的職位、職責和責任發生實質性減少，(Ii)參與者基本工資大幅減少(影響公司高級管理人員的一般減薪計劃的一部分除外)，(Iii)向參與者提供的養老金和福利的總價值較控制權變更前的實際價值大幅減少(與根據包括所有高級管理人員的成本節約計劃適用於其他高級管理人員的削減成比例的減少除外)，(Iv)公司嚴重違反參與者僱傭協議的任何條款，或(V)公司要求參與者在一個為參與者創造了從其主要住所到其單程通勤超過60英里的地點。, 除因公司商務出差所需的差旅與參與者僱傭協議項下參與者的商務差旅義務基本一致外。儘管如上所述，在下列情況下，終止不應被視為終止：(I)如果參與者出於充分理由以書面同意導致終止索賠的事件的發生，或(Ii)除非參與者在實際知道此類事件發生後三十(30)天內向公司提交了書面通知，説明他打算以良好的理由終止僱傭，並説明終止的事實基礎，並且該事件(如果能夠治癒)，不得在收到該通知後三十(30)天內治癒。]

(C)追回。在接受RSU時，參與者同意受 公司已生效或未來可能採用的任何追回政策的約束。參與者在此確認並同意本公司適用、實施和執行(I)任何可能不時生效的適用的退還政策和(Ii)任何與取消、退還、撤銷或支付賠償有關的適用法律條款，並同意本公司可以採取必要的行動來實施退還政策，而無需進一步的 考慮或行動。

3.對轉讓的限制。參與者不得出售、轉讓、轉讓、質押、質押或以其他方式處置(集體轉讓)任何RSU或其中的任何權益；前提是參與者可以將RSU轉讓到履行家庭關係訂單所需的程度(如《守則》第414(P)(1)(B)節所定義的)；此外，任何此類轉讓的RSU應繼續受本協議的約束(包括但不限於沒收條款和本第3條規定的轉讓限制)，作為轉讓的條件，該獲準受讓人應向公司提交一份書面文件，確認該受讓人應受本協議所有條款和條件的約束。

4.本計劃的規定。本協議受本計劃的條款約束，該計劃的副本將提供給本協議的參與方。

3

5.第409A條。如果參與者受美國聯邦 所得税的約束，則根據本協議支付的RSU和付款旨在遵守第409a條的要求或有資格獲得豁免，本協議的解釋應與此一致。除第409a條明確允許或要求的範圍外，公司和參與者均無權加速或推遲本協議項下的付款。本協議中定義的術語應具有第409a節所規定的此類 術語的含義(如果符合第409a節的要求)，包括所提及的終止僱傭或類似術語應被視為提及第409a節所定義的離職。儘管本協議有任何其他規定，但本公司保留在其認為必要或適宜的範圍內，自行決定單方面修訂本計劃和/或本協議的權利，以確保本協議項下的所有獎勵都有資格豁免或以其他方式遵守第409a條；但本公司不承諾排除第409a條適用於本獎勵或保證遵守本獎勵。除非適用法律另有要求，否則在第409a節所定義的短期延遲期內到期的第5節所述的任何付款不得視為延期賠償。如果向參與者提供的與其終止僱傭有關的任何付款、補償或其他福利的任何部分被確定為構成第409a節含義的非限定遞延補償，且參與者是守則第409a(2)(B)(I)節所界定的特定僱員，且在一定範圍內，該參與者被確定為構成第409a條所指的非限定遞延補償, 按照公司按照其程序確定的，參與者在此同意他或她受約束，付款、補償或其他福利的該部分不得在離職之日(根據第409A條(新付款日期)確定)後六個月加一天之前支付，除非第409A條可能允許。本應在離職之日至新付款日期期間向參與者支付的所有付款的總額應在新付款日期一次性支付給參與者，其餘任何付款將按其原計劃支付。儘管有上述規定，本公司、其聯屬公司、董事、高級管理人員及代理對參與者或任何其他方概不承擔責任，如擬豁免或遵守第409A條的RSU並不如此豁免或遵守，或董事會、委員會或其代表所採取的任何行動。

4

6.預提税金⁹¹⁰.

9	本節適用於位於美國的員工。對於位於 美國以外的員工，第6節應如下所示：

6.納税義務。

(A)無論公司或僱用參與者的附屬公司(僱主)對任何或所有與參與者參與本計劃有關的任何或所有所得税、社會保險、工資税、附帶福利税、臨時付款或其他與參與者相關且合法適用於參與者的税收項目(税收相關項目) 採取任何行動，參與者承認參與者所欠所有税收相關項目的最終責任是且仍是參與者的責任，且該金額可能超過公司和/或僱主實際扣繳的金額。參與者進一步承認，本公司及/或僱主(I)不會就與RSU的任何 方面相關的任何税務項目的處理作出任何陳述或承諾，包括授予或歸屬RSU、發行股份以結算RSU、隨後出售股份及收取任何股息；及(Ii)不承諾亦無義務安排授予條款或RSU的任何方面以減少或消除參與者對税務相關項目的責任或取得任何特定税務結果。此外，如果參與者在多個司法管轄區繳税， 參與者承認公司和/或僱主(或前僱主，視情況而定)可能被要求在多個司法管轄區預扣或説明與税收相關的項目。

(B)為了履行公司和/或僱主在與税務有關的項目(預扣税款)方面的任何預扣義務，公司將通過公司保留股份的方式進行預扣。因此，參與者特此指示公司，在參與者不採取進一步行動的情況下，從參與者有權從當時歸屬或預定歸屬的RSU中扣除和保留的 股數量等於預扣税金價值的股票數量。該等已交出股份的公平市價將以普通股於各自歸屬日期的收市價 為基準，但如該日期並非交易日，本公司應於該日期後的第一個交易日採用收市價。作為替代或補充，參與者 授權公司和/或僱主或其各自的代理人酌情通過下列一種或多種方式履行其關於所有預扣税的義務(如果有的話)；(I)扣留參賽者的 本公司、僱主或任何聯營公司應付予參賽者的工資或其他現金補償，(Ii)要求參賽者向本公司或聯屬公司支付預扣税款的現金，及/或(Iii) 本公司決定根據本計劃及在適用法律或本計劃所規定的範圍內，經董事會或委員會批准的任何其他扣繳方式。儘管如上所述，如果參與者是交易法規定的本公司第16條規定的高級管理人員，本公司將扣留支付RSU時將發行的股份中的股份，如本文所述，並且不會使用本第6條規定的其他方式。

(C)公司可以通過考慮法定或其他預扣費率，包括參與者管轄範圍內的最高適用費率，來預扣預扣税款。如果超額扣繳，參與者可以從公司或僱主那裏獲得任何超額扣繳的現金退款(無權獲得等值的股票金額)，否則，參與者可以向當地税務機關申請退款。在預扣不足的情況下，參與者可能被要求直接向適用的税務機關或向公司和/或僱主支付任何額外的與税收相關的項目。參與人不履行與納税有關事項的義務的，公司可以拒絕發行或交付股份或股份出售所得。

10	對於位於美國以外的某些國家/地區的員工，還將插入或添加特定的當地税法和證券法條款作為RSU協議的附錄。

5

(A)公司在歸屬和結算RSU時向參與者交付股票的義務應滿足所有所得税(包括聯邦、州和地方税)、社會保險、工資税、預付款或其他與預扣税相關的要求(預扣税)。為了滿足參與者的RSU的所有預扣税，參與者同意以下內容：

(B)參與者 在此選擇履行因公司保留股份而產生的所有預扣税義務。因此，參與者特此指示公司，在參與者不採取進一步行動的情況下，從當時歸屬或計劃歸屬的RSU中扣除和保留參與者有權獲得的股份數量，該數量等於預扣税金的價值。該等已交出股份的公平市價將以普通股於各自歸屬日期的收市價為基準，但如該日期不是交易日，本公司將於該日期後的第一個交易日採用收市價。參保人同意，如果本公司扣留的RSU的價值超過任何特定年度可徵收的最高社會保險金額，本公司將以現金形式向參保人退還超出的金額。

(C)參與者已與參與者自己的税務顧問一起審查了此股權獎勵的聯邦、州、地方和外國税收後果以及本協議預期的交易。參與者僅依賴此類顧問，而不依賴公司或其任何代理人的任何聲明或陳述。參與者理解，參與者 (而不是本公司)應對參與者本人因本股權獎勵或本協議預期進行的交易而產生的納税責任負責。

(D)參與者向本公司表示，截至本協議日期，他/她不知道任何有關本公司或普通股的重大非公開信息。參與者和公司已將本協議構建為一份具有約束力的合同，涉及公司根據本第6條保留普通股，符合1934年《證券交易法》第10(B)條下根據該法案頒佈的第10b5-1(C)條規定的對責任的積極抗辯。.

7.批地的性質。在簽署本協議時，參與者承認：

(A)本計劃由本公司自願訂立，屬酌情性質，可由本公司隨時修改、修訂、暫停或終止，但本計劃及本協議另有規定者除外。

(B)給予RSU是自願的，而且是偶然的，並不產生任何合同或其他權利，以獲得未來的RSU獎勵或代替RSU的利益，即使RSU在過去曾多次被授予。

(C)關於未來授予RSU(如有)的所有決定將由本公司全權酌情決定。

(D)參加者參加該計劃是自願的。

(E)RSU不是任何目的正常或預期薪酬或薪資的一部分，包括但不限於任何工資、遣散費、裁員或其他服務終止付款、獎金、長期服務金、退休金或退休福利或類似付款的計算，在任何情況下均不得被視為對公司或參與者僱主過去服務的補償，或以任何方式與 本公司或參與者僱主的服務相關，或因任何僱傭協議而產生。

(F)不適用於RSU的投票權或股息或 分配權。

(G)標的股份的未來價值是未知的，也不能確定地預測。

(H)如果參與者在歸屬和結算時收到股份，則歸屬和結算RSU時獲得的此類股份的價值可能會增加或減少。

6

(I)對於授予RSU，不會因RSU的終止或因公司或參與者的僱主終止受僱而導致的RSU歸屬和和解時收到的RSU或股份的價值減值而產生任何索賠或獲得補償或損害的權利 (出於任何原因，無論是否違反當地勞動法)，並且參與者不可撤銷地免除公司及其僱主可能產生的任何此類索賠；儘管有前述規定，如果有管轄權的法院發現 已發生任何此類索賠，則通過簽署本協議，參與者應被視為不可撤銷地放棄了其繼續索賠的權利。

(J)除本協議第二節另有規定外，如果參與者不再是員工(無論是否違反當地勞動法)，參與者根據本計劃獲得RSU和授予的權利(如果有)將自參與者不再受僱於公司之日起終止，並且不會被當地法律規定的任何 通知期延長(E.g根據當地法律，在職員工不包括一段時間的園藝假或類似的假期)；根據第409a條的規定，公司有權自行決定參與者何時不再從事在職工作。

8.數據隱私聲明和 同意。通過接受RSU，參與者同意按如下方式處理其個人數據：

(a) 數據收集和使用。本公司位於美國馬薩諸塞州01810，安多弗，2 Tech Drive，Suite201， ，並由參與者自行決定授予RSU。公司及其子公司收集、處理和使用參與者的個人數據，包括參與者的姓名、家庭住址、出生日期、社會保障號碼、工資、員工識別號、公司電子郵件地址以及所有以參與者為受益人的已取消、已授予或未支付的RSU的詳細信息，這些數據是公司從參與者或參與者的僱主那裏收到的。本公司為實施、管理和管理本計劃而收集數據。本公司處理數據的法律依據是參與者的同意。

(b) 股票計劃管理服務提供商。本公司和/或其子公司可將數據傳輸給富達股票計劃服務公司及其附屬公司，後者協助本公司實施、管理和管理本計劃。未來，該公司可能會選擇不同的服務提供商，並與另一家以類似方式提供服務的 公司共享數據。公司的服務提供商將為參與者開立一個帳户以獲得份額。參與者將被要求與服務提供商就單獨的條款和數據處理實踐達成一致，這是參與者是否有能力參與計劃的一個條件。

(c) 國際數據傳輸 。本公司總部設在美國，其服務提供商設在美國。如果參與者不在美國，參與者應注意，參與者所在的國家/地區已制定了與美國不同的數據隱私法。本公司傳輸數據的法律依據是參與者的同意。

(d) 數據保留。本公司將僅在實施、管理和管理參與者參與本計劃所需的時間或在遵守法律或法規義務(包括税收、證券、外匯管制和勞動法)的情況下使用數據。此期限可能超過參與者終止僱用的時間。當本公司不再需要這些數據時，本公司將在合理可行的最大程度上將其從其系統中刪除。如果本公司將數據保存更長時間，將是為了履行法律或法規義務，而本公司的法律依據將是相關法律或法規。

(e) 自願和拒絕或撤回同意的後果 。參與該計劃和參與者的同意完全是自願的。參加者可隨時拒絕或撤回其同意。如果參與者不同意或 參與者撤回同意，則參與者不能參與計劃。這不會影響參保人從參保人僱主那裏獲得的工資或受僱於該參保人的僱主；參保人只會 失去與該計劃相關的機會。

7

(F)數據主體權利。參與者根據其所在國家/地區的數據隱私法擁有多項權利。根據參與者所在地的不同，參與者的權利可能包括(A)請求訪問或複製數據，(B)更正不正確的數據，(C)刪除 數據，(D)限制處理，(E)數據的可攜帶性，(F)向參與者所在國家的主管當局提出投訴，和/或(G)列出任何潛在數據接收者的姓名和地址。 要獲得有關參與者權利的澄清或行使參與者的權利，參與者應聯繫公司，地址為2 Tech Drive，Suite 201，Andover，馬薩諸塞州01810，美國

9.雜項¹¹.

(A)沒有就業權或服務權。參與者確認並同意，根據第1條或第2條和本合同附件A授予的RSU僅根據該等條款的條款而獲得。參與者進一步確認並同意，本協議項下預期的交易和本協議規定的授予時間表並不構成在歸屬期間、任何其他期間或根本不作為員工或其他服務提供商繼續聘用的明示或默示承諾。

(B)可分割性。本協議任何條款的無效或不可執行性不應影響本協議任何其他條款的有效性或可執行性 ，本協議的其他條款在法律允許的範圍內均可分割和執行。

(C)豁免。董事會、委員會或其代表可在一般情況下或在任何特定情況下放棄本協議中有關本公司利益的任何規定。

(D)具有約束力。本協議對公司和參與者及其各自的繼承人、遺囑執行人、管理人、法定代表人、繼承人和受讓人具有約束力並符合其利益，但須遵守本協議第3節規定的轉讓限制。

(E)通知。本協議項下要求或允許的所有通知應以書面形式發出，並視為有效，在親自送達或寄往美國郵局後五(Br)(5)天內，以預付郵資的掛號信或掛號信寄給本協議另一方，收件人為本協議另一方在本協議簽名下顯示的地址，或任何一方根據本協議第9(E)條指定給另一方的其他一個或多個地址。

(F)代詞。 只要上下文需要，本協議中使用的任何代詞應包括相應的男性、女性或中性形式，名詞和代詞的單數形式應包括複數，反之亦然。

(G)語言。如果參與者已收到翻譯成英語以外語言的本協議或與本計劃相關的任何其他文件，並且如果翻譯版本與英語版本不同，則以英語版本為準。

(H)電子交付。公司可自行決定以電子方式交付與參與本計劃有關的任何文件、根據本計劃授予的RSU或根據本計劃可能授予的未來RSU，或以電子方式請求參與者同意參與本計劃。參與者特此同意以電子交付方式接收此類文件，並在提出請求時同意通過由公司或公司指定的其他第三方建立和維護的在線或電子系統參與計劃。

11	對於在美國境外(法國和以色列除外)的僱員，將插入以下新的第(Br)分段，作為第9(I)分段，其餘分段將重新標記為(J)-(N)。

(I)附錄。 儘管本協議有任何規定，但RSU贈款應受制於本協議任何附錄中為參與者所在國家規定的任何附加條款和條件。此外，如果參與者搬遷到附錄中所包括的其中一個國家/地區，則該國家/地區的附加條款和條件將適用於該參與者，前提是公司確定出於法律或 行政原因，應用該等條款和條件是必要或適宜的。本協議附件是本協議的一部分。

8

(I)整個協議。本協議和本計劃構成雙方之間的完整協議，並取代與本協議主題相關的所有先前協議和諒解。

(J)修正案。除第5節規定外，本協議只能通過公司和參與者雙方簽署的書面文書進行修改或修改。

(K)適用法律；會場。本協議應根據馬薩諸塞州聯邦的國內法律進行解釋、解釋和執行，而不考慮任何適用的法律衝突。為執行本協議而提起的任何訴訟、訴訟或其他程序，無論是與本協議有關的，還是由本協議引起的，雙方特此提交馬薩諸塞州聯邦內法院的唯一和專屬管轄權，並 同意該法院作出和/或執行本協議的任何其他法院。

(L)施加其他規定。本公司保留權利對參與者參與本計劃以及根據本計劃收購的任何股份施加其他要求，只要本公司認為出於法律或行政原因是必要或適宜的，並要求參與者簽署為實現上述目的可能需要的任何其他協議或承諾。

(M)參與者的致謝。參與者 確認：(I)已閲讀本協議；(Ii)已由參與者自己選擇的法律顧問代表本協議的準備、談判和執行過程，或自願拒絕尋求此類律師；(Iii)瞭解本協議的條款和後果；以及(Iv)充分了解本協議的法律效力和約束力。

9

茲證明，本協議雙方已於上述日期簽署本協議。