附件10.2

MKS儀器公司

限制性股票單位協議

根據2022年股票激勵計劃向非僱員董事發放年度補助金

馬薩諸塞州MKS儀器公司(The Company)與《參與者名稱》(The Participant Name)之間的協議《授予日期》(The Grant Date)。

對於收到的有價值的對價，雙方同意如下：

1.一般情況。根據本協議和《公司2022年股票激勵計劃》(以下簡稱《計劃》)中規定的條款和條件，本公司已向參與者授予受限股票單位(RSU) ，數量如本協議附件A所示，為本公司普通股(無面值)。RSU代表公司在歸屬和結算時交付股份的承諾。

(A)定義。本協議中未明確定義的大寫術語應與本計劃中賦予它們的含義相同。

(I)代碼是指經修訂的1986年美國國內税法。

(Ii)傷殘是指(A)參與者因任何醫學上可確定的身體或精神損傷而不能從事任何重大有利可圖的活動，而該等損傷可預期導致死亡或可持續不少於12個月；或(B)參與者因任何可醫學確定的可導致死亡或可持續不少於12個月的身體或精神損傷而領取本公司僱員意外 及健康計劃下為期不少於三個月的收入替代福利。

(Iii)沒收是指根據第2(A)節沒收任何RSU。

(Iv)為本公司服務包括作為本公司或守則第424(E)或(F)節所界定的本公司任何母公司或附屬公司的僱員、高級人員或董事人員或顧問或其顧問的服務。

(V)第1(B)節規定了歸屬日期。

(B)轉歸期。根據本協議的條款和條件(包括下文第2節所述的沒收條款)，RSU應在(A)本協議日期後召開的本公司第一次股東周年大會的前一天或(B)授出日期後13個月內全部歸屬(該日期為歸屬日期)。公司應在實際可行的情況下儘快，但不遲於該歸屬日期後30天，指示其轉讓代理將受RSU約束的股票存入參與者在富達股票計劃服務有限公司的現有股權賬户或公司與之建立關係的其他經紀商 (經紀公司)，並按照所有適用税項第6節的規定付款。儘管有上述規定，股份可在本條第1(B)節所述日期後，僅在守則第409a節及其下的規定(第409a節)所允許或要求的範圍內進行分配。

2.沒收。

(A)停止服務。如果參與者在歸屬日期之前因任何原因或無故停止提供服務，無論是否有任何原因，參與者的所有未授予的RSU將自動被沒收。儘管如上所述，如果參與者在歸屬日期之前因死亡或殘疾而停止提供服務，則參與者的所有RSU將立即完全歸屬，不再受本協議項下沒收條款的約束，受該等RSU約束的股份應在實際可行的情況下儘快交付給參與者，但不得遲於參與者終止日期後的三十(30)天。

(B)控制權的變更。儘管如上所述，在控制權變更(定義如下)生效後，參與者的所有RSU將立即完全歸屬，不再受本協議項下沒收條款的約束，受該等RSU約束的股份應在控制權變更生效之日起實際可行的情況下儘快(但不遲於三十(30)天)交付給參與者。就本節而言，控制權變更是指以下任何事件的首次發生：(I)任何人(如1934年證券交易法(交易法)第13節和第14(D)(2)節中使用的那樣)直接或間接成為有權在董事選舉中投票的公司50%(50%)或更多股本的實益所有者(如交易法第13(D)節中使用的那樣)；(Ii)本公司股東批准本公司的任何合併或合併，但如緊接合並或合併前的普通股持有人持有緊接合並或合併後尚存法團的普通股超過50%(50%)的本公司合併或合併除外；或(Iii)本公司股東批准將本公司的全部或實質全部資產出售或轉讓予並非本公司為成員的受控 法人團體(定義見守則第1563節)的任何一方。

3.對轉讓的限制。參與者不得自願或通過法律的實施(統稱為轉讓)出售、轉讓、轉讓、質押或以其他方式阻礙任何RSU或其中的任何權益，除非參與者可以(I)通過遺囑或繼承法和分配法轉讓此類RSU，或(Ii)根據合格的家庭關係命令或(Iii)為無償轉讓給任何直系家庭成員或為其利益而無償轉讓給任何直系家庭成員，為參與者和/或直系親屬的利益而設立的家族信託或其他實體，如果公司有資格使用證券法下的S-8表格將普通股出售登記給該建議的受讓人，則受此類RSU的限制；但此類RSU應繼續受本協議的約束(包括但不限於沒收條款和第3節規定的轉讓限制)，並且作為轉讓的條件，該獲準受讓人應向公司提交書面文件，確認該受讓人應受本協議的所有條款和條件的約束。

4.本計劃的規定。本協議受本計劃的條款約束，該計劃的副本將提供給本協議的參與方。

5.第409A條。在參與者受美國聯邦所得税 徵税的範圍內，根據本協議支付的RSU和付款旨在遵守第409a條的要求或有資格獲得豁免，本協議的解釋應與此一致。除第409a條明確允許或要求的範圍外，公司和 參與者均無權根據本協議加速或推遲付款。如果符合第409a節的要求，本協議中定義的術語應具有第409a節中賦予此類術語的含義。儘管本協議有任何其他規定，但公司保留在其認為必要或適宜的範圍內，自行決定單方面修改計劃和/或本協議的權利，以確保本協議項下的所有獎勵都有資格豁免或以其他方式遵守第409a條；但公司不承諾排除第409a條適用於本獎勵或保證遵守該條款。除非適用法律另有規定，否則在第409a節定義的短期延遲期內到期的第5節所述的任何付款不應視為延期賠償 。儘管有上述規定，本公司、其聯屬公司、董事、高級職員及代理人於擬豁免或不符合第409A條的RSU或董事會、委員會或其代表所採取的任何行動下，概不對參與者或任何其他方承擔任何責任。

6. 税。

(A)本公司在歸屬和結算RSU時向參與者交付股票的義務應為 滿足所有所得税(包括聯邦、州和地方税)和任何其他與税收相關的要求(……税)。

2

(B)參與者已與參與者自己的税務顧問一起審查了此股權獎勵的聯邦、州、地方和外國税收後果以及本協議預期的交易。參與者僅依賴此類顧問，而不依賴公司或其任何代理人的任何聲明或陳述。 參與者理解，參與者(而不是公司)應對參與者自己因本次股權獎勵或本協議預期進行的交易而產生的納税責任負責。

7.批地的性質。在簽署本協議時，參與者承認：

(A)本計劃由本公司自願訂立，屬酌情性質，可由本公司隨時修改、修訂、暫停或終止，但本計劃及本協議另有規定者除外。

(B)給予RSU是自願的，是偶然的，並不產生任何合同或其他權利，以獲得未來的RSU獎勵或代替RSU的利益，即使RSU在過去曾多次被授予；

(C)關於未來授予RSU(如果有)的所有決定將由公司全權酌情決定；

(D)參加者參加該計劃是自願的。

(E)RSU不是用於任何目的的正常或預期薪酬或工資的一部分，包括但不限於任何工資、遣散費、裁員或其他服務終止金、獎金、長期服務金、養老金或退休福利或類似付款的計算，在任何情況下都不應被視為對過去服務的補償，或以任何方式與過去的服務有關。

(F)不適用於RSU的投票權、股息或分配權。

(G)標的股份的未來價值未知，亦不能肯定地預測。

(H)如果參與者在歸屬和結算時收到股份，則在歸屬和結算RSU時獲得的該等股份的價值可以 增減。

(I)對於授予RSU，不會因終止RSU或因公司終止參與者的服務關係而導致RSU的歸屬和和解時收到的RSU或股份的價值縮水而產生任何索賠或獲得賠償或損害的權利，且參與方不可撤銷地免除公司可能產生的任何此類索賠；儘管有前述規定，如果有管轄權的法院發現任何此類索賠已經發生，則通過簽署本協議，參與者應被視為不可撤銷地放棄了其提出此類索賠的權利。

(J)除本協議第2節另有規定外，如果參與者停止提供服務，參與者根據本計劃接收RSU和歸屬的權利(如果有)將自參與者不再主動提供服務之日起終止，並且不會因當地法律規定的任何通知期限而延長；公司有權根據第409a節的規定，確定參與者何時不再主動提供服務。

8.資料私隱通知及同意。

通過接受RSU，參與者同意按如下方式處理其個人數據：

(A)數據收集和使用。本公司位於美國馬薩諸塞州01810安多佛市科技大道2號，郵政編碼01810，並由參與者自行決定是否授予其RSU。公司及其子公司收集、處理和使用參與者的個人數據，包括參與者的姓名、家庭住址、出生日期、社會安全號碼、電子郵件地址 以及公司從參與者處收到的所有已註銷、已授予或未支付的RSU的詳細信息(如數據)。公司收集數據的目的是實施、管理和管理該計劃。本公司處理數據的法律依據是參與者的同意。

3

(B)股票計劃管理服務提供者。本公司和/或其 子公司可將數據傳輸至富達股票計劃服務公司及其附屬公司，後者協助本公司實施、管理和管理本計劃。未來，公司可能會選擇不同的服務提供商，並與以類似方式提供服務的另一家公司共享數據。公司的服務提供商將為參與者開立一個帳户以獲得份額。參與者將被要求與服務提供商就單獨的條款和數據處理實踐達成一致，這是參與者是否有能力參與計劃的一個條件。

(C)國際數據轉移。公司總部設在美國，其服務提供商設在美國。如果參與者不在美國，參與者應注意，參與者所在國家/地區制定的數據隱私法與美國的不同。公司傳輸數據的法律依據是 參與者的同意。

(D)數據保留。本公司將僅在實施、管理和管理參與者參與本計劃所需的時間或遵守法律或法規義務(包括税收、證券、外匯管制和勞動法)的情況下使用數據。此期限可能超過參與者服務終止後的 。當本公司不再需要這些數據時，本公司將在合理可行的最大程度上將其從其系統中刪除。如果本公司將數據保存更長時間，將是為了履行法律或監管義務，本公司的法律依據將是相關法律或法規。

(E)自願和拒絕同意或撤回同意的後果。參與該計劃和參與者的同意完全是自願的。參加者可隨時拒絕或撤回其同意。如果參與者不同意， 或如果參與者撤回同意，則參與者不能參與計劃。這不會影響參與者的年度預約金或其他費用，也不會影響參與者在公司的服務；參與者 只會失去與計劃相關的機會。

(F)數據主體權利。參與者根據其所在國家/地區的數據隱私法擁有多項權利。根據參與者所在地的不同，參與者的權利可能包括：(A)請求訪問或複製數據，(B)更正不正確的數據，(C)刪除數據，(D)限制處理，(E)數據的可攜帶性，(F)向參與者所在國家的主管當局提出投訴，和/或(G)列出任何 潛在數據接收者的姓名和地址。要了解參與者的權利或行使參與者的權利，參與者應聯繫公司，地址為美國馬薩諸塞州01810，安多弗，技術大道2號。

9.雜項。

(A)沒有服務權利關係。參與者承認並同意，根據本合同第1(B)條 或第2條授予的RSU僅根據該等條款的條款而獲得。參與者還確認並同意，本協議項下預期的交易和本協議所載的轉歸時間表並不構成在轉歸期間、任何時期或根本不構成作為員工、高級管理人員、董事、顧問或顧問的持續服務關係的明示或默示承諾。

(B)可分割性。本協議任何條款的無效或不可執行性不應影響本協議任何其他條款的有效性或可執行性 ，本協議的其他條款在法律允許的範圍內均可分割和執行。

(C)豁免。董事會、委員會或其代表可在一般情況下或在任何特定情況下放棄本協議中有關本公司利益的任何規定。

(D)具有約束力。本協議對公司和參與者及其各自的繼承人、遺囑執行人、管理人、法定代表人、繼承人和受讓人具有約束力並符合其利益，但須遵守本協議第3節規定的轉讓限制。

4

(E)通知。本協議項下要求或允許的所有通知應以書面形式發出，且應視為有效，在親自送達或在美國郵局寄存五天後，以掛號或掛號信、預付郵資的方式寄給本協議另一方，收件人為本協議另一方在本協議簽名下顯示的地址，或任何一方根據本第9(E)條指定給另一方的其他一個或多個地址。

(F)代詞。只要上下文需要，本協議中使用的任何代詞應包括相應的男性、女性或中性形式，名詞和代詞的單數形式應包括複數，反之亦然。

(G)語言。如果 參與者已收到翻譯成英語以外的語言的本協議或與本計劃相關的任何其他文件，並且如果翻譯的版本與英語版本不同，則以英語版本為準。

(H)電子交付。公司可自行決定以電子方式交付與參與計劃有關的任何文件、根據計劃授予的RSU或根據計劃可能授予的未來RSU，或以電子方式請求參與者同意參與計劃。參與者在此同意以電子交付方式接收此類文件，並在提出請求時同意通過公司或公司指定的其他第三方建立和維護的在線或電子系統參與計劃。

(I)整個協議。本協議和本計劃構成雙方之間的完整協議，並取代與本協議主題相關的所有以前的協議和諒解。

(J)修訂。除第5節另有規定外，本協議只能通過公司和參與者雙方簽署的書面文件進行修改或修改。

(K)適用法律；會場。本協議應根據馬薩諸塞州聯邦的國內法律進行解釋、解釋和執行，而不考慮任何適用的法律衝突。為執行本協議而提起的任何訴訟、訴訟或其他程序，無論是與本協議有關的，還是由本協議引起的，雙方特此提交馬薩諸塞州聯邦內法院的唯一和專屬管轄權，並 同意該法院作出和/或執行本協議的任何其他法院。

(L)施加其他規定。本公司保留權利對參與者參與本計劃以及根據本計劃收購的任何股份施加其他要求，只要本公司認為出於法律或行政原因是必要或適宜的，並要求參與者簽署為實現上述目的可能需要的任何其他協議或承諾。

(M)參與者的致謝。參與者 確認：(I)已閲讀本協議；(Ii)已由參與者自己選擇的法律顧問代表本協議的準備、談判和執行過程，或自願拒絕尋求此類律師；(Iii)瞭解本協議的條款和後果；以及(Iv)充分了解本協議的法律效力和約束力。

5

茲證明，本協議雙方已於上述日期簽署本協議。