附件23.1

獨立註冊會計師事務所的同意

我們同意將Amtech Systems，Inc.截至2021年9月30日和2020年9月30日的合併財務報表，以及截至2021年9月30日的三個年度的每一年的合併財務報表，通過引用的方式納入我們於2021年11月17日的報告的S-8表格註冊聲明中，幷包括在其截至2021年9月30日的10-K表格年度報告中。

邁耶·霍夫曼·麥肯P.C.

亞利桑那州鳳凰城

March 25, 2022