March 25, 2022

Amtech系統公司

南克拉克大道131號

郵編：85281

尊敬的女士們、先生們：

我們曾擔任亞利桑那州公司Amtech Systems，Inc.(以下簡稱“公司”)的法律顧問，負責編制和提交公司根據經修訂的1933年證券法(“證券法”)向美國證券交易委員會(“委員會”)提交的S-8表格註冊表(“註冊表”)，該註冊表涉及根據1933年證券法(經修訂的證券法)註冊1,000,000股公司普通股，每股面值0.01美元(“股票”)，保留供根據Amtech Systems發行，Inc.2022年股權激勵計劃(以下簡稱《計劃》)。

就此，吾等已審核並依賴吾等判斷為構成下文所載意見之依據所必需或適當之紀錄、文件、證書及其他文書。在所有此類審查中，我們假設原始文件上的簽名是真實的，並假設提交給我們的所有副本作為經認證、符合或影印的副本與該等原始文件相符，對於公職人員證書，我們假設該等證書已正確提供並準確。至於與本意見有關的重要事實事項，吾等一直依賴本公司代表及公職人員的聲明及陳述，而未經獨立核實。

除《亞利桑那州商業公司法》(包括《亞利桑那州憲法》的法定條款、所有適用條款以及已報道的解釋上述條款的司法裁決)和美利堅合眾國聯邦法律外，我們在此不對任何法律發表任何意見。

本意見僅在日期和截止日期發表，並完全基於我們在該日期和截止日期所知的事實和情況。此外，在提出本意見時，我們不承擔修改、更新或補充本意見的義務(I)如果亞利桑那州的現行法律或美利堅合眾國的聯邦法律在此日期後通過立法行動、司法決定或其他方式發生變化，或(Ii)反映在此日期之後我們可能注意到的任何事實或情況。

基於上述規定，並受前述規定所限，吾等認為並特此通知閣下，該等股份已獲正式授權，並於根據該計劃的條款及根據該計劃附帶的協議而發行及交付時，將獲有效發行、全額支付及不可評估。

* * *

我們特此同意將本意見作為註冊聲明的附件5.1提交。在給予這一同意時，我們不承認我們屬於證券法第7節或根據證券法頒佈的委員會規則和法規要求其同意的人的類別。

非常真誠地屬於你，

DLA Piper LLP(美國)