根據2022年3月25日提交給美國證券交易委員會的文件

註冊編號333-

美國

美國證券交易委員會

華盛頓特區，20549

表格S-8

註冊聲明

在……下面

1933年《證券法》

Amtech Systems，Inc.

(註冊人的確切姓名載於其章程)

Amtech Systems，Inc.2022年股權激勵計劃

(圖則全稱)

麗莎·D·吉布斯

首席財務官

南克拉克大道131號

坦佩，亞利桑那州

85281

(480) 967-5146

(服務代理人的姓名、地址和電話號碼，包括區號)

將副本複製到：

格雷戈裏·R·霍爾

DLA Piper LLP(美國)

駱駝路東2525號，1000號套房

亞利桑那州鳳凰城85016-4232號

Tel: (480) 606-5116

Fax: (480) 606-5516

用複選標記表示註冊人是大型加速申報公司、加速申報公司、非加速申報公司、較小的報告公司或新興成長型公司。請參閲《交易法》第12b-2條規則中“大型加速申報公司”、“加速申報公司”、“較小申報公司”和“新興成長型公司”的定義。

如果是一家新興成長型公司，用複選標記表示註冊人是否已選擇不使用延長的過渡期來遵守根據證券法第7(A)(2)(B)節提供的任何新的或修訂的財務會計準則。☐

第一部分

第10(A)條招股章程所規定的資料

根據經修訂的1933年證券法(“證券法”)第428條的規定以及S-8表格第I部分指示的介紹性説明，本申請中省略了表格S-8第I部分第1項和第2項中規定的信息。載有第一部分所列資料的文件將按照規則第428(B)(1)條的要求交付給計劃的參與者。

第II部

註冊聲明中所要求的信息

除非信息被視為已提供且未根據證券法律法規進行存檔，否則Amtech Systems，Inc.(註冊人)特此將以下文件作為參考併入本註冊聲明：

註冊人根據1934年《交易法》第13(A)、13(C)、14或15(D)條(以下簡稱《交易法》)提交的所有文件，在本《註冊聲明》的日期之後，在提交生效後的修正案之前，表明所有在此發售的證券已售出或註銷所有當時未售出的證券，均以引用方式併入本《註冊聲明》，並自提交該等文件之日起成為本註冊聲明的一部分；但向股東提交的任何未來年度或季度報告或根據Form 8-K現行第2.02或7.01項提供的文件或當前報告中未被視為根據該等規定提交的任何部分除外。就本註冊聲明而言，以引用方式併入或視為以引用方式併入的文件中所載的任何陳述，應被視為就本註冊聲明而言已被修改或取代，只要本文所載或任何其他隨後提交的文件中所包含的陳述修改或取代該陳述，該文件也或被視為以引用方式併入。任何如此修改或取代的陳述，除非經如此修改或取代，否則不得被視為構成本註冊聲明的一部分。

不適用。

不適用。

《亞利桑那州商業公司法》(下稱《亞利桑那州商業公司法》)允許公司在某些情況下賠償其現任和前任董事和高級管理人員因受到威脅、待決或已完成的民事、刑事、行政或調查行動、訴訟或法律程序而合理招致的費用和開支(包括律師費)，無論該公司的公司章程或章程中是否包含此類賠償的授權。

根據《反海外腐敗法》，為使公司對董事或高級職員進行賠償，公司的大多數公正董事、特別法律顧問或股東必須發現，要受賠償的個人的行為是出於善意，並且該人有理由相信該行為符合公司的最佳利益(就與該公司有“公務關係的行為”的情況下)，或者該行為至少沒有違反該公司的最大利益(在所有其他情況下)。在任何刑事訴訟中，調查結果必須是個人沒有合理理由相信該行為是非法的。允許對這些個人支付的費用、判決、罰款和和解金額進行賠償，但在由公司提起或根據公司權利提起的訴訟中，賠償僅限於與訴訟有關的合理費用。但是，在下一段第二句第(二)款所述的情況下，公司不能對董事進行賠償。公司的公司章程可以對董事的行為進行賠償，而根據《公司章程》的其他條款，對這些行為已經允許或強制進行更廣泛的賠償。此外，如果個人是高級人員而不是董事(或者兩者都是，但僅僅因為作為高級人員的作為或不作為而被成為訴訟的一方)，公司可以在公司章程、章程、董事會決議或合同規定的範圍內進一步賠償和墊付費用，但以下情況除外：(I)由公司或根據公司的權利與訴訟有關的責任，但與訴訟有關的合理費用除外, 或(2)因下列行為而產生的責任：(A)高級職員收受該高級職員無權獲得的經濟利益，(B)故意傷害公司或股東，或(C)故意違反刑法。

《反腐敗法》規定的賠償是允許的，但在辯護成功的情況下除外，在這種情況下，董事或官員必須就與訴訟有關的合理費用，包括律師費，進行賠償，除非此類賠償受到公司章程的限制。此外，《反海外腐敗法》要求亞利桑那州的公司向任何“董事以外的人”(即在擔任董事公司時，不是公司任何類別股票或公司任何關聯公司股票的高級管理人員、僱員或持有者的人)賠償責任，除非(I)公司的公司章程限制了這種賠償，(Ii)在由公司或根據公司的權利提起的訴訟中，或在向董事收取不正當財務利益的任何其他訴訟中，董事被裁定負有責任，無論是否涉及以董事官方身份提起的訴訟。董事因被董事不正當收受經濟利益而被判定負有責任，或(三)法院在向外部董事付款前認定董事未達到前款規定的行為標準。在某些限制的情況下，如果法院根據所有相關情況認為個人有公平和合理的權利獲得賠償，則法院還可以命令對該個人進行賠償，無論是或

未達到本款和前款規定的行為標準或者被判定承擔上述責任的。

根據註冊處修訂和重新修訂的公司章程，註冊處應賠償其任何和所有現任和前任董事、高級管理人員、僱員和代理人及其每個人所招致的一切費用，包括但不限於法律費用、判決、罰款和為達成和解或妥協而支付的金額，這些費用包括但不限於在任何針對他們中的任何人提起或威脅的法律訴訟中可能產生或招致、提供或徵收的任何行為或不作為，這些訴訟是由於或由於被指控在受僱為公司的董事人員、高級職員、僱員或代理人期間所犯下的任何行為或不作為而發生的。不論是否有或已有任何訴訟針對他們提出，亦不論任何和解或妥協是否獲法院批准，法團均須作出彌償，而不論提出或威脅的法律訴訟是由法團或由任何其他人提出或有權提出的。

每當任何現任或前任董事官員、僱員或代理人向公司總裁或董事會主席報告他或她已經或可能產生的費用，包括但不限於法律費用、判決、罰款和為達成和解或妥協而對他或她提起的法律訴訟中所支付的金額，其被指控在擔任董事官員、僱員或代理人期間犯下的任何行為或不作為，董事會應：在委員會的下一次常會上或在其後合理時間內舉行的特別會議上，委員會應真誠地確定，無論是就訴訟所涉事項或就擬採取的行動而言，此人是否故意或出於嚴重過失或具有欺詐或犯罪意圖而採取行動、沒有采取行動或拒絕採取行動。如果董事會善意地認定該人在訴訟或擬提起的訴訟中沒有故意或出於重大過失或欺詐或犯罪意圖而採取行動、沒有采取行動或拒絕採取行動，則賠償應是強制性的，並應按照本條例的規定自動擴大賠償範圍；但在任何情況下，公司有權拒絕賠償，否則本應適用賠償的人無理拒絕允許公司自費並通過其自己選擇的律師在訴訟中為其辯護。

註冊人已代表其董事和高級管理人員購買了保險，以承擔某些責任，包括聯邦和州證券法下的責任，這些責任可能是以註冊人董事或高級管理人員的身份針對註冊人的董事或高級管理人員而提出的，或可能因其作為註冊人董事或高級人員的身份而引起的。

不適用。

第9項承擔額。

以下籤署的註冊人特此承諾：

(1)在作出要約或出售的任何期間內，提交本登記聲明的生效後修正案：

(I)包括證券法第10(A)(3)節要求的任何招股説明書；

(Ii)在招股章程中反映在本註冊聲明生效日期(或其最新生效後修訂)後產生的任何事實或事件，而該等事實或事件個別或整體代表本註冊聲明所載資料的基本改變。儘管有上述規定，證券發行量的任何增加或減少(如果所發行證券的總美元價值不超過登記的證券)以及與估計最大發行區間的低端或高端的任何偏離，均可在根據規則424(B)提交給美國證券交易委員會的招股説明書中反映出來，前提是數量和價格的變化總計不超過有效註冊書中“註冊費計算”表所列最高發行總價的20%；以及

(Iii)在本註冊説明書中包括與以前未披露的分配計劃有關的任何重大信息，或在本註冊説明書中對該等信息進行任何重大更改；

但如第(1)(1)款和第(1)(2)款要求列入生效後修正案的信息已載於登記人根據第13條提交或提交給美國證券交易委員會的報告中，則該款不適用。

通過引用併入《註冊聲明》的《交易法》第15(D)條；

(2)就確定《證券法》下的任何責任而言，每一項生效後的修訂應被視為與其中所提供的證券有關的新的登記聲明，而當時的此類證券的發售應被視為其最初的真誠發售；以及

(3)以生效後修訂的方式，將在終止發售時仍未售出的任何正在登記的證券從登記中刪除。

以下籤署的註冊人承諾，就確定證券法項下的任何責任而言，根據交易法第13(A)條或第15(D)條提交註冊人年度報告(以及(如適用)根據交易法第15(D)條提交員工福利計劃年度報告)通過引用納入本註冊説明書，應被視為與其中提供的證券有關的新註冊聲明，而當時發售該等證券應被視為首次真誠發售。

鑑於根據第6項概述的賠償條款或其他規定，可允許註冊人的董事、高級管理人員和控制人對證券法項下產生的責任進行賠償，註冊人已被告知，美國證券交易委員會認為這種賠償違反證券法中表達的公共政策，因此不可強制執行。如果董事、註冊人的高級職員或控制人就正在登記的證券提出賠償要求(註冊人為成功抗辯任何訴訟、訴訟或法律程序而招致或支付的費用除外)，除非註冊人的律師認為此事已通過控制先例解決，否則註冊人將向具有適當司法管轄權的法院提交該賠償是否違反證券法所表達的公共政策以及是否將受該發行的最終裁決管轄的問題。

簽名

根據證券法的要求，註冊人證明其有合理理由相信其符合提交S-8表格的所有要求，並已於2022年3月25日在亞利桑那州坦佩市正式促使本註冊聲明由其正式授權的簽署人代表其簽署。

授權書

簽署如下的Amtech Systems，Inc.的高級管理人員和董事特此組成並任命其真正合法的代理人和代理人Lisa D.Gibbs，她具有完全的代理權，有權單獨行事，代表以下籤署的人簽署和籤立本S-8表格登記聲明及其任何修正案，每一位簽署人在此批准並確認該代理人和代理人或其替代人將根據本表格或其代理人所做的一切。

根據《證券法》的要求，本註冊聲明已由下列人員以指定的身份在指定日期簽署。