附件32.1

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Axcelis Technologies，Inc.

首席執行官的認證

根據“美國法典”第18編第63章第1350節的規定

下面簽署的特拉華州公司Axcelis Technologies，Inc.的首席執行官特此為美國法典第18章第63章第1350節的目的(由2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節實施)證明如下：

這份Form 10-K年度報告完全符合1934年“證券交易法”第13(A)或15(D)節(“美國聯邦法典”第15編78M或78O(D))的要求，其中包含的信息在所有重要方面都公平地反映了公司的財務狀況和經營結果。

茲證明以下籤署人已於2022年2月25日簽署本證書。

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