附件23.1
獨立註冊會計師事務所的同意
我們同意在以下注冊聲明中以引用方式註冊為公司：
| (1) | 與Axcelis Technologies，Inc.2012年股權激勵計劃有關的登記聲明(表格S-8第333-181750號、第333-188967號、第333-196157號、第333-204544號、第333-211673號、第333-218225號和第333-231634號)， |
| (2) | 關於Axcelis Technologies，Inc.2020年員工股票購買計劃的登記表(表格S-8第333-238770號)， |
| (3) | 關於2000年股票計劃和2012年股權激勵計劃的登記表(表格S-8第333-120356號)，以及 |
| (4) | Axcelis Technologies，Inc.的普通股、優先股、認股權證、債務證券和單位登記説明書(表格S-3第333-238772號)和相關招股説明書； |
在我們日期為2022年2月25日的報告中，涉及Axcelis Technologies，Inc.的合併財務報表和時間表，以及Axcelis Technologies，Inc.在截至2021年12月31日的年度報告(Form 10-K)中包含的Axcelis Technologies，Inc.財務報告內部控制的有效性。
/s/安永律師事務所
波士頓，馬薩諸塞州
2022年2月25日
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