附件21.1
Axcelis Technologies，Inc.
截至2021年12月31日的10-K表格附件21.1
附屬公司
以下是截至本協議之日Axcelis Technologies，Inc.的所有直接和間接全資子公司的名單：
國內子公司
1. | Axcelis Technologies(以色列)Inc.，特拉華州的一家公司 |
歐洲子公司
2. | Axcelis Technologies GmbH(德國) |
3. | Axcelis Technologies，Srl(意大利) |
4. | Axcelis Technologies，SARL(法國) |
亞洲子公司
5. | Axcelis Technologies，KK(日本) |
6. | Axcelis Technologies Limited(韓國) |
7. | Axcelis Technologies，Ltd(臺灣) |
8. | Axcelis Technologies Pte.有限公司(新加坡) |
9. | 安賽利斯科技半導體貿易(上海)有限公司(中華人民共和國) |
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