附件10.9

Axcelis Technologies,Inc.

2022年2月25日非員工董事現金薪酬

本附件披露了Axcelis Technologies,Inc.(以下簡稱“本公司”)與其每位非僱員董事之間關於現金薪酬的最新理解。Axcelis向非僱員董事提供現金預付金,如下所示:

年度現金預付金,按季度預付

董事會成員聘用人

$60,000

獨立主席溢價

$50,000

委員會主席的定位器

審計委員會主席

$25,000

薪酬委員會主席

$15,000

提名和治理委員會主席

$10,000

技術和產品開發委員會主席

$10,000

委員(非主席)聘用人

審計委員會委員

$10,000

薪酬委員會委員

$7,500

提名和治理委員會成員

$5,000

技術與產品開發委員會委員

$5,000

非僱員董事還可以報銷出席董事會和委員會會議的自付費用。非僱員董事不會獲得任何由公司支付的額外津貼。

除審計委員會、薪酬委員會、提名委員會、治理委員會和產品開發委員會外,董事會還可不時成立委員會,併為這些額外委員會的服務制定報酬。