附件32.1

Amtech Systems,Inc.及其子公司

根據以下條件進行認證

“美國法典”第18編第1350條,

根據

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

關於Amtech Systems,Inc.(以下簡稱“公司”)於本報告日期提交給美國證券交易委員會(SEC)的截至2021年6月30日的10-Q表格季度報告(以下簡稱“報告”),本人、本公司首席執行官Michael Wang根據2002年薩班斯-奧克斯利法案(Sarbanes-Oxley Act)第906節通過的“美國法典”第18編第1350條證明,據我所知:

(1)

該報告完全符合1934年證券交易法第13(A)或15(D)節的要求;以及

(2)

報告中包含的信息在所有重要方面都公平地反映了公司的財務狀況和經營結果。

通過

/s/Michael Wang

邁克爾·王(Michael Wang)

首席執行官

Amtech Systems,Inc.

日期:

2021年8月4日

上述證明是根據“美國法典”第18編第1350條提供的。它不是為了1934年證券交易法(修訂後)第18條的目的而提交的,也不會通過引用將其納入公司的任何文件中,無論該文件中的任何一般公司語言如何。