展品31.1

AMTECH SYSTEMS,INC.及其子公司

根据 13a-14(a)/15d-14(a) 规则的认证

证券交易所法案(1934年修正案)

我,Robert C. Daigle,郑重声明:

1.选举作为董事的四位被提名人,其名称在附加的代理声明中列出,其任期将在2025年的股东年会上到期且在其继任者被选举和被确认前担任董事。
我已经审查了Amtech Systems,Inc.(“注册人”)的这份第10-Q表格季度报告书,
2.
基于我所知,本季度报告期间内,本报告未包含任何虚假声明,或未遗漏任何必要陈述的重要事实,以使在制作此类声明的情况下,这些声明不会误导;
3。
基于我的知识,本报告中所包含的财务报表和其他财务信息,如在本季度报告中所呈现的一样,公允地反映了注册人的财务状况、经营成果和现金流量;
4.
注册人的另一位认证官员和我负责建立和维护披露控制程序(如交易所法规13a-15(e)和15d-15(e)所定义)和注册人的内部财务报告控制(如交易所法规13a-15(f)和15d-15(f)所定义),并且:
(a)
设计将谢公司重要信息,包括其合并子公司的信息,通过其他人在编制本报告期间内向我们披露的披露控制和程序;
(b)
设计了这样的内部财务报告控制或在我们的监督下促使这些内部财务报告控制的设计以依据普遍公认会计原则为外部目的可靠地报告财务情况和编制财务报表,以提供合理的保证;
(c)
评估了注册人的披露控制和程序的效力,并根据这些评估,就根据本报告涵盖期间的披露控制和程序的效力,在本报告中提出了我们的结论;
(d)
在本报告中披露了在注册人最近的财政季度内发生的任何影响到内部财务报告控制系统的重大变化,或者合理可能对注册人的内部财务报告控制系统产生重大影响的变化;
5。
我们与注册人的审计师和董事会董事(或履行相同职能的人员)披露了注册人的其他认证官员和我们的最新的内部控制评估结果;
(a)
在财务报告内部控制的设计或操作中存在重大缺陷和实质性弱点,这种缺陷和弱点有可能对本注册人记录、处理、总结和报告财务信息的能力产生不利影响;并且
(b)
有关本注册人的管理层或其他员工在试图影响本注册人财务报告内部控制方面有重要作用的欺诈问题已在本登记人的最新财务报告内部控制评估中揭示。

 

作者:

 

/s/ Robert C. Daigle

 

 

Robert C. Daigle

 

 

董事长兼首席执行官

 

 

Amtech Systems,Inc。

 

 

 

日期:

 

2024年8月7日