附录 23.1

独立 注册会计师事务所的同意

我们 同意在 CVD 设备公司的注册声明中以引用方式注册成立 S-8 表格（文件编号 333-138903、333-153186 和 333-217439）和我们 2024 年 3 月 28 日关于我们对 CVD 设备公司及子公司截至2023年12月31日和 2022年12月31日的合并财务报表以及 截至2023年12月31日期间每年的合并财务报表以及 截至2023年12月31日期间每年的合并财务报表以及 截至2023年12月31日期间每年的报告的 表格 包含在本截至2023年12月31日止年度的CVD 设备公司10-K表年度报告中。

/s/ Marcum LLP

Marcum LLP

纽约州梅尔维尔，

2024 年 3 月 28