附件15.1

独立注册会计师事务所的同意

我们同意在注册声明中以提述的方式注册成立（编号：333—116337、333—126340、333—136362、333—141125、333—142254、333—144356、333—147128、333—153277、333—162439、333—170034、333—188938、333—190023，333—192951、333—203390、333—219442和333—227464）于我们日期为2023年2月15日的报告的表格S—8中就ASML Holding N.V.的合并财务报表和财务报告内部控制的有效性进行了审核。

/s/毕马威会计师事务所N. V

Amstelveen，荷兰

2023年2月15日