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三星和诺瓦发布联合研究
在 SPIE 高级光刻会议上

演示在线功能
的光谱干涉测量和拉曼光谱
用于高级内存应用程序

 

以色列雷霍沃特——2024年2月27日——Nova（纳斯达克股票代码：NVMI）今天宣布，它将在2024年SPIE Advanced Lithography 2024上发表两篇与三星研发中心共同撰写的 篇论文。这些论文将由Nova和三星在SPIE的计量、检验和过程控制会议上发表。

这些论文是两家公司持续合作的结果，这些合作推动了许多创新的联合开发计划，以增强 先进的芯片制造。这些论文演示了Nova通过开发独特的解决方案来测量存储器阵列内部复杂结构上感兴趣的关键参数，从而利用多种新技术来实现高级过程控制。

第一篇论文 “复杂高纵横比三维 NAND 结构的独特光谱干涉测量解决方案” 展示了光谱 干涉测量 (SI) 和垂直行进散射算法 (VTS) 和 AI 能力在解决复杂高纵横比结构（例如 3D NAND）中的挑战方面的能力。这是通过直接从 VTS 信号测量 multideck 3D 结构的复杂层厚度来实现的，无需建模，同时过滤来自底层的信息。此外，VTS 和 AI 可以直接分析具有非周期性阶梯 和显著横向变化的区域中的深穿式细胞金属接触。

第二篇论文《使用光谱干涉法、拉曼光谱和混合机器 学习对硫系化物合金层进行单元厚度监测”，除了 VTS 建模外，还介绍了在线拉曼光谱的使用。与特定材料键相对应的拉曼信号转换为临界硫系化物 材料的在线细胞厚度和成分测量。事实证明，拉曼光谱结果支持采用 VTS 光谱的无模型 AI 解决方案，这是该解决方案测量材料特性的能力的衍生物。

Nova首席技术官谢伊 Wolfling博士说：“我们很高兴有机会与三星研发中心合作推出Nova的创新技术。”“这种合作使我们能够在最先进、最具挑战性的 内存架构的关键工艺步骤中评估、增强和扩展我们的在线光谱干涉测量和拉曼技术的用例。这项联合工作表明，通过与客户的研发合作，我们可以推出开创性的解决方案，实现向大批量制造的快速过渡。”

 

关于 Nova

Nova是半导体 制造中先进过程控制的材料、光学和化学计量解决方案的领先创新者和关键提供商。Nova通过提供最先进的高性能计量解决方案来实现持续创新，从而在整个半导体制造生命周期中实现有效的过程控制。Nova 的产品组合结合了 高精度硬件和尖端软件，为其客户提供了开发和生产最先进的半导体器件的深刻见解。Nova 提供创新解决方案的独特能力使其客户能够 提高性能、提高产品产量并缩短上市时间。Nova通过其全球办事处充当半导体制造商的合作伙伴。更多信息可以在 Nova 的网站链接 https://www.novami.com/ 上找到。

Nova在纳斯达克和TASE上市，纳斯达克股票代码为NVMI。

 

前瞻性陈述

 

本新闻稿包含1995年 《私人证券诉讼改革法》安全港条款所指的前瞻性陈述，这些条款涉及未来事件或我们的未来业绩，例如有关但不限于预期增长机会的陈述以及对我们业务及其未来收入、支出和盈利能力的预测。前瞻性 陈述涉及已知和未知的风险、不确定性和其他因素，这些因素可能导致我们的实际业绩、活动水平、业绩或成就与这些前瞻性陈述中表达或暗示的任何未来业绩、活动水平、业绩或 成就存在重大差异。可能影响我们业绩、业绩、情况或成就的因素包括但不限于以下因素：信息技术安全加剧 威胁和复杂的计算机犯罪；包括供应链困难在内的外国政治和经济风险；经济制裁和出口限制等可能限制我们运营的法规；美国贸易政策的变化； 俄乌冲突的间接影响；包括通货膨胀和衰退压力在内的市场不稳定；与做事相关的风险与中国的业务；灾难性事件；无法保护我们的知识产权；开源 技术风险，包括与人工智能相关的风险；未能有效竞争或未能应对快速的技术变革；我们的行业整合；难以预测我们目标市场的任何衰退 或扩张期的长短和强度；对我们产品线定价和需求产生不利影响的因素；对少数大型客户的依赖；对单一制造每个产品线的设施； 对有限数量供应商的依赖；难以整合当前或未来的收购；漫长的销售周期和客户的订单延迟；与以色列状况相关的风险，包括与哈马斯和其他 恐怖组织最近从加沙地带发动的袭击以及以色列对他们的战争有关的风险；与我们的可转换票据相关的风险；货币波动；以及我们经营业绩的季度波动。我们无法保证未来的结果、活动水平、 业绩或成就。本新闻稿中讨论的事项还涉及 Nova 于 2024 年 2 月 20 日向 证券交易委员会提交的截至2023年12月31日止年度的20-F表年度报告中 “风险因素” 标题下总结的风险和不确定性。通过向证券交易委员会提交报告和注册声明，这些因素会不时更新。Nova Ltd. 不承担任何义务 更新本新闻稿中包含的前瞻性信息。