附录 24.1

委托书

用于根据第 16 (a) 条执行与 Axcelis TECHNOLOGIES INC. 证券有关的报告

下列签署人特此组成并任命卡温顿和伯林律师事务所的罗素·洛夫、琳内特·法伦和梅根·盖茨等人，从本文发布之日起至本授权书被撤销为止，每人单独行事，即下列签署人的真实合法代理人：

(1)

根据1934年《证券交易法》第16（a）条及其相关规则，代表下列签署人执行关于Axcelis Technologies, Inc.证券的表格3、4和5，但不言而喻，该事实上的律师根据本授权书代表下列签署人签发的文件应采用这种形式，并应包含事实律师等条款和条件可酌情批准；以及

(2)

为了完成任何此类表格 3、4 或 5 的执行以及及时向美国证券交易委员会和任何其他机构提交该表格，为和代表下列签署人采取和执行任何必要或可取的行为。

下列签署人特此授予每位事实上的律师在行使本协议授予的任何权利和权力时采取和执行所有必要、必要和适当的行为和事物的全部权力和权力，无论出于何种意图和目的，只要下述签署人亲自到场可能或可能做的那样，具有完全的替代权或撤销权，特此批准和确认该事实上的律师或他或他或他的所有意图和目的她的一个或多个替代者，应凭借这种权力，合法地做或促成这样做律师以及此处授予的权利和权力。下列签署人承认，上述律师实际上是应下列签署人的要求以这种身份任职的，没有承担下列签署人遵守1934年《证券交易法》第16条的任何责任。

为此，下列签署人促使本授权书于今年 13 日生效，以昭信守^第四2023 年 12 月的那一天。

/s/ 格雷戈里 B. 格雷夫斯________

格雷戈里 B. 格雷夫斯