附件：23.1
独立注册会计师事务所的同意
Veeco仪器公司董事会：
我们同意将关于Veeco Instruments Inc.的综合财务报表和财务报表附表II-估值和合格账户以及财务报告内部控制的有效性的报告通过引用纳入下面列出的2024年2月16日报告的登记报表中。
注册编号 |
| 表格 |
| 平面图 |
333-166852 | | S-8 | | 威视仪器公司2010年股票激励计划 |
333-194737 | | S-8 | | Veeco Inc.2010年股票激励计划、Veeco Inc.2013年激励股票激励计划 |
333-211781 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.修订并重新修订了2010年股票激励计划、Veeco Instruments Inc.2016员工股票购买计划 |
333-218256 | | S-8 | | UltraTech，Inc.1993年修订和重述的股票期权/股票发行计划2017年5月31日 |
333-231266 | | S-8 | | Veeco Inc.2019年股票激励计划；Veeco Instruments Inc.2016年员工股票购买计划第一修正案 |
333-242450 | | S-3 | | Veeco Instruments Inc.货架注册声明 |
333-256004 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.2016年员工股票购买计划第二修正案 |
333-265117 | | S-8 | | Veeco Instruments Inc.2019年股票激励计划修正案1 |
/s/毕马威律师事务所
加利福尼亚州圣克拉拉
2024年2月16日