附录 23.1

独立注册会计师事务所的同意

我们特此同意以提及方式将我们2023年8月4日的报告纳入本KLA Corporation表S-8表格的注册声明中关于财务报表、财务报表附表和财务报告内部控制的有效性， 出现在截至2023年6月30日的KLA公司10-K表年度报告中。

/s/{ br} 普华永道会计师事务所

加利福尼亚州圣何塞

2023年11月1日