附录 5.1

JEFFREY S. CANNON 的看法，ESQ.

2023年11月1日

KLA 公司

一个技术驱动器

加利福尼亚州米尔皮塔斯 95035

回复：

S-8 表格上的注册声明

女士们、先生们：

特拉华州的一家公司 （以下简称 “公司”）正在向美国证券交易委员会提交一份S-8表格（以下简称 “注册声明”）的注册声明，目的是根据经修订的1933年《证券法》（《证券法》），（1）另外注册418,316股公司普通股，面值为每股0.001美元（普通股），留待公司发行 ys 经修订和重述的 1997 年员工股票购买计划（ESPP）以及 (2) 10,654,712 股公司普通股，每股面值0.001美元，预留给根据公司2023年激励奖励计划（ IAP）发行，如注册声明中所述。根据ESPP和IAP预留发行的额外普通股在本文中被称为股份。

在发表本意见时，我曾担任公司的助理总法律顾问，作为法律顾问，我审查了我认为发表本意见所必需的文件以及 此类事实和法律问题。在这类检查中，我假设所有签名的真实性，以 原件提交给我的所有文件的真实性，并假设作为合格副本或静电复印件提交给我的所有文件都与原始文件一致。

基于上述情况， 我认为，当股票根据ESPP和IAP的条款和条件正式发行和交付时，此类股票将有效发行、全额支付且不可评估。

我特此同意将本意见作为注册声明的附录提交。