我已经查看了这份 Amtech Systems, Inc.（“注册人”）10-Q 表季度报告，

据我所知，鉴于作出此类陈述的情况，本季度报告不包含任何关于重大事实的不真实陈述，也没有省略陈述作出陈述所必需的重大事实，在本季度报告所涵盖的时期内不会产生误导；

根据我所知，本报告中包含的财务报表和其他财务信息，在所有重大方面公允反映了注册人截至本季度报告所述期间和期间的财务状况、经营业绩和现金流；

注册人的另一位认证人员和我负责为注册人建立和维护披露控制和程序（定义见《交易法》第13a-15（e）条和第15d-15（e）条）以及对财务报告的内部控制（定义见《交易法》第13a-15（f）条和第15d-15（f）条），并有：

设计了此类披露控制和程序，或促使此类披露控制和程序在我们的监督下设计，以确保这些实体内的其他人向我们提供与注册人（包括其合并子公司）有关的重要信息，尤其是在本报告编写期间；

设计了此类财务报告内部控制，或使此类财务报告内部控制在我们的监督下设计，以便为财务报告的可靠性以及根据公认的会计原则编制用于外部目的的财务报表提供合理的保证；

评估了注册人披露控制和程序的有效性，并在本报告中根据此类评估得出了截至本报告所涉期末对披露控制和程序有效性的结论；以及

在本报告中披露了注册人最近一个财季发生的注册人对财务报告内部控制的任何变化，这些变化对注册人对财务报告的内部控制产生了重大影响或有理由可能产生重大影响；以及

根据我们对财务报告内部控制的最新评估，注册人的另一位认证人员和我已向注册人的审计师和注册人董事会审计委员会（或履行同等职能的人员）披露了以下信息：

财务报告内部控制的设计或运作中存在的所有重大缺陷和重大弱点，这些缺陷和弱点很可能会对注册人记录、处理、汇总和报告财务信息的能力产生不利影响；以及

任何涉及在注册人财务报告内部控制中起重要作用的管理层或其他员工的欺诈行为，无论是否重大。