附录 5.1
| 2023年6月5日 | +1 617 526 6000 (t) +1 617 526 5000 (f) www.wilmerhale.com |
MKS 仪器有限公司
2 Tech Drive，套件 201
马萨诸塞州安多弗 01810
| 回复： | 表格 S-3 上的注册声明 |
女士们、先生们：
本意见与 (i) 马萨诸塞州的一家公司 Inc.根据经修订的1933年《证券法》（《证券法》）向美国证券交易委员会（委员会）提交的 S-3 表格（文件编号 333-267046）（注册声明）的注册声明（文件编号333-267046）（注册声明）有关 普通股的注册，否公司每股面值（普通股），根据规则，所有这些股票都可以不时延迟或持续发行415 根据《证券法》，以不确定的首次发行价格 ，详见注册声明和其中包含的招股说明书（基本招股说明书）以及（ii）2023年6月1日的招股说明书补充文件（招股说明书补充文件以及 基本招股说明书，招股说明书），涉及根据注册声明出售多达2,000,000股普通股（以下简称 “股票”）) 由公司的某些股东（出售 股东）执行。
这些股票将由卖出股东根据日期为2023年6月1日 的承销协议（承销协议）发行和出售，由公司、承销协议附表2中指定的卖出股东和作为承销协议中提到的几家承销商 的代表的摩根证券有限责任公司之间发行和出售，该协议作为公司当前报告的附录1.1提交委员会在本文件发布之日提交的表格8-K上.
我们就出售股票的股东出售担任公司的法律顾问。我们已经审查并依赖了向委员会提交的注册声明的签名副本 。我们还审查并依赖了公司提供给我们的承销协议、招股说明书、 公司股东和董事会的会议记录和行动、经重述的公司组织章程和经修订和重述的公司章程，以及迄今为止经重述和/或修订的公司章程，以及我们认为为发表下文所述意见所必需的其他 文件。
在审查上述 文件时，我们假设所有签名的真实性，作为原件提交给我们的所有文件的真实性，作为副本提交给我们的所有文件与原始文件的一致性， 后一类文件的原件的真实性以及此类文件的所有签署人的法律权限。
