附件10.3

MKS仪器公司

限制性股票单位协议

根据2022年股票激励计划授予

马萨诸塞州MKS仪器公司(The MKS Instruments，Inc.)(马萨诸塞州的一家公司)与《参与者名称》(The Participant Name)(The Participant Name)(参与者名称)之间达成的协议：授予日期(授予日期)。

对于收到的有价值的对价，双方同意如下：

1.一般情况。根据 本协议和公司2022年股票激励计划(以下简称计划)中规定的条款和条件，公司特此授予参与者限制性股票 个单位(RSU？)，数量见本协议附件A所列的公司普通股(非面值普通股)。RSU代表公司在归属和结算时交付股份的承诺。

(A)定义。本协议中未明确定义的大写术语应与本计划中赋予它们的含义相同。

(I)代码是指经修订的1986年美国国内税法。

(Ii)确定日期(如果适用)在本合同附件A中定义。

(Iii)伤残是指(A)参与者因任何可由医学确定的身体或精神损伤而不能从事任何重大有利可图的活动，而该等损伤可预期导致死亡或可持续不少于12个月；或(B)参与者因任何可由医学确定的可导致死亡或可持续不少于12个月的身体或精神损伤而领取本公司雇员意外 及健康计划下为期不少于三个月的收入替代福利。

(Iv)受雇于本公司包括受雇于守则第424(E)或(F)节所界定的本公司母公司或附属公司，在该实体为本公司母公司或附属公司期间受雇 。

(V)没收是指根据第2节没收任何RSU。

(Vi)[？退休？¹指参与者年满六十五(65)岁并在公司服务至少十(10)年(正常退休)或年满六十(60)岁并在公司服务至少十五(Br)(提前退休)后自愿终止雇佣关系。参与者的终止不应被视为由于退休，除非他或她至少在其建议的终止日期前六十(Br)(60)天向公司提供退休通知，并协助按公司的要求有序过渡职责。本公司可全权酌情豁免该等预先通知的要求。]

(Vii)归属日期在本合同附件A中定义。

(Viii)[？服务年限？²指自参与者最初受雇于公司以来的总受雇年数；但是，如果参与者离开或被终止受雇于公司，然后又被重新雇用，则只有在以下情况下，以前的任何受雇年限才应计入服务年限：(A)参与者在公司的缺勤不超过五(5)年，以及(B)公司雇用的总天数超过参与者缺勤的总天数。]

1	只有薪酬委员会指定的高级职员和某些其他雇员才有权在退休后加速归属。此外，对于这些官员和员工中的某些人来说，退休是指参与者在年满六十(60)岁并在公司至少服务了十(10)年后自愿终止雇用。

2

见上文脚注1。

(B)转归期。在符合本协议的条款和条件(包括下文第二节所述的没收条款)的情况下，RSU应根据附件A中的条款进行归属，在每个适用的归属日期后尽快，但不迟于适用的归属日期后三十(30)天，公司应指示其转让代理将受RSU约束的股票存入参与者在富达股票计划服务有限责任公司的现有股权账户或公司已与其建立关系的其他经纪商(经纪商)，并按照所有适用条款第6条的规定付款。[扣缴]³税金。尽管有上述规定，股份可在第1(B)款规定的日期之后，仅在守则第409a条及其规定(第409a条)允许或要求的范围内进行分配。

2.没收。

(A) 终止雇用。如果参与者因任何原因或无故(死亡、伤残或退休除外)而停止受雇于公司⁴)，无论是否有原因，在归属日期之前，参与者的所有未归属的RSU应自终止之日起自动没收。就本协议而言，如本公司已以书面形式批准任何真正的请假，则不应视为已终止雇用。然而，在任何休假的情况下，公司可根据适用法律和第409a条的规定，自行决定暂停授予RSU。只要参与者继续受雇，RSU的归属将不受参与者在公司的任何雇佣类型变化的影响。如果参与者因死亡、残疾或退休而不再受雇于本公司⁵在归属日期之前，参与者所有未被没收的RSU应立即完全归属(受附件A中任何 绩效标准的约束)，不再受本协议项下的没收条款的约束，受此类RSU约束的股份应在参与者终止日期后尽快(但不迟于30天)交付给参与者，但如果该等死亡、伤残或退休⁶如果在确定日期之前发生，则应确定要如此归属的RSU的数量，并在确定日期(如果有)归属，受RSU归属部分约束的股份应在确定日期后在实际可行的情况下尽快(但不迟于三十(30)天)交付给 参与者，如果有，还提供⁷如果参与者被视为提前退休，并且 发生在确定日期之前(如果有)，则应通过按比例计算参与者受雇期间的绩效期间所赚取的总金额来确定如此授予的RSU数量。

(b) [控制权的变化⁸。尽管如上所述，如果在任何归属日期之前，在控制权变更(定义如下)生效后的两年内，参与者(I)被公司无故解雇(定义如下)或(Ii)出于正当理由(定义如下)终止其雇佣关系，则所有(或，如果基于绩效的RSU仍受制于附件A的绩效标准，则目标RSU数量(定义见附件A，参与者未被没收的RSU的股份(如适用)将立即完全归属，不再受本协议项下没收条款的约束，受该等RSU约束的股份应在终止之日起实际可行的时间内尽快(但不迟于30天)交付给参与者。就本节而言，控制权变更是指以下任何事件中最先发生的事件：(I)任何人(如1934年证券交易法(交易法)第13节和第14(D)(2)节中使用的那样)直接或间接地成为有权在董事选举中投票的公司股本的50%(50%)或更多的实益所有者(如交易法第13(D)节中使用的那样)；(Ii)公司股东批准本公司的任何合并或合并，但在紧接合并或合并前持有普通股的持有人持有紧接合并或合并后尚存公司普通股的50%(50%)以上的公司合并或合并除外；或

3	删除位于美国以外的员工。

4

见上文脚注1。

5

见上文脚注1。

6

见上文脚注1。

7

见上文脚注1。

8	只有董事会薪酬委员会指定的某些公司高级管理人员和其他员工才有权因控制权变更而加速归属。

2

公司股东批准将公司的全部或几乎所有资产出售或转让给不属于公司所属的受控公司集团(如代码第1563节所定义)的各方；前提是，如果RSU构成符合第409a条的不合格递延补偿，则控制权的此类变更也是财务法规第1.409A-3(I)(5)条所指的控制权变更。就本协议而言，因犯重罪、参与者故意不履行对公司的责任 或参与者故意行为不当。就本节而言，充分理由应指参与者在以下情况下在90天内终止雇用：(I)参与者与公司或其任何子公司的雇佣协议(雇佣协议)中所述的职位、职责和责任发生实质性减少，(Ii)参与者基本工资大幅减少(影响公司高级管理人员的一般减薪计划的一部分除外)，(Iii)向参与者提供的养老金和福利的总价值较控制权变更前的实际价值大幅减少(与根据包括所有高级管理人员的成本节约计划适用于其他高级管理人员的削减成比例的减少除外)，(Iv)公司严重违反参与者雇佣协议的任何条款，或(V)公司要求参与者在一个为参与者创造了从其主要住所到其单程通勤超过60英里的地点。, 除因公司商务出差所需的差旅与参与者雇佣协议项下参与者的商务差旅义务基本一致外。尽管如上所述，在下列情况下，终止不应被视为终止：(I)如果参与者出于充分理由以书面同意导致终止索赔的事件的发生，或(Ii)除非参与者在实际知道此类事件发生后三十(30)天内向公司提交了书面通知，说明他打算以良好的理由终止雇佣，并说明终止的事实基础，并且该事件(如果能够治愈)，不得在收到该通知后三十(30)天内治愈。]

(C)追回。在接受RSU时，参与者同意受 公司已生效或未来可能采用的任何追回政策的约束。参与者在此确认并同意本公司适用、实施和执行(I)任何可能不时生效的适用的退还政策和(Ii)任何与取消、退还、撤销或支付赔偿有关的适用法律条款，并同意本公司可以采取必要的行动来实施退还政策，而无需进一步的 考虑或行动。

3.对转让的限制。参与者不得出售、转让、转让、质押、质押或以其他方式处置(集体转让)任何RSU或其中的任何权益；前提是参与者可以将RSU转让到履行家庭关系订单所需的程度(如《守则》第414(P)(1)(B)节所定义的)；此外，任何此类转让的RSU应继续受本协议的约束(包括但不限于没收条款和本第3条规定的转让限制)，作为转让的条件，该获准受让人应向公司提交一份书面文件，确认该受让人应受本协议所有条款和条件的约束。

4.本计划的规定。本协议受本计划的条款约束，该计划的副本将提供给本协议的参与方。

3

5.第409A条。如果参与者受美国联邦 所得税的约束，则根据本协议支付的RSU和付款旨在遵守第409a条的要求或有资格获得豁免，本协议的解释应与此一致。除第409a条明确允许或要求的范围外，公司和参与者均无权加速或推迟本协议项下的付款。本协议中定义的术语应具有第409a节所规定的此类 术语的含义(如果符合第409a节的要求)，包括所提及的终止雇佣或类似术语应被视为提及第409a节所定义的离职。尽管本协议有任何其他规定，但本公司保留在其认为必要或适宜的范围内，自行决定单方面修订本计划和/或本协议的权利，以确保本协议项下的所有奖励都有资格豁免或以其他方式遵守第409a条；但本公司不承诺排除第409a条适用于本奖励或保证遵守本奖励。除非适用法律另有要求，否则在第409a节所定义的短期延迟期内到期的第5节所述的任何付款不得视为延期赔偿。如果向参与者提供的与其终止雇佣有关的任何付款、补偿或其他福利的任何部分被确定为构成第409a节含义的非限定递延补偿，且参与者是守则第409a(2)(B)(I)节所界定的特定雇员，且在一定范围内，该参与者被确定为构成第409a条所指的非限定递延补偿, 按照公司按照其程序确定的，参与者在此同意他或她受约束，付款、补偿或其他福利的该部分不得在离职之日(根据第409A条(新付款日期)确定)后六个月加一天之前支付，除非第409A条可能允许。本应在离职之日至新付款日期期间向参与者支付的所有付款的总额应在新付款日期一次性支付给参与者，其余任何付款将按其原计划支付。尽管有上述规定，本公司、其联属公司、董事、高级管理人员及代理对参与者或任何其他方概不承担责任，如拟豁免或遵守第409A条的RSU并不如此豁免或遵守，或董事会、委员会或其代表所采取的任何行动。

4

6.预提税金⁹¹⁰.

9	本节适用于位于美国的员工。对于位于 美国以外的员工，第6节应如下所示：

6.纳税义务。

(A)无论公司或雇用参与者的附属公司(雇主)对任何或所有与参与者参与本计划有关的任何或所有所得税、社会保险、工资税、附带福利税、临时付款或其他与参与者相关且合法适用于参与者的税收项目(税收相关项目) 采取任何行动，参与者承认参与者所欠所有税收相关项目的最终责任是且仍是参与者的责任，且该金额可能超过公司和/或雇主实际扣缴的金额。参与者进一步承认，本公司及/或雇主(I)不会就与RSU的任何 方面相关的任何税务项目的处理作出任何陈述或承诺，包括授予或归属RSU、发行股份以结算RSU、随后出售股份及收取任何股息；及(Ii)不承诺亦无义务安排授予条款或RSU的任何方面以减少或消除参与者对税务相关项目的责任或取得任何特定税务结果。此外，如果参与者在多个司法管辖区缴税， 参与者承认公司和/或雇主(或前雇主，视情况而定)可能被要求在多个司法管辖区预扣或说明与税收相关的项目。

(B)为了履行公司和/或雇主在与税务有关的项目(预扣税款)方面的任何预扣义务，公司将通过公司保留股份的方式进行预扣。因此，参与者特此指示公司，在参与者不采取进一步行动的情况下，从参与者有权从当时归属或预定归属的RSU中扣除和保留的 股数量等于预扣税金价值的股票数量。该等已交出股份的公平市价将以普通股于各自归属日期的收市价 为基准，但如该日期并非交易日，本公司应于该日期后的第一个交易日采用收市价。作为替代或补充，参与者 授权公司和/或雇主或其各自的代理人酌情通过下列一种或多种方式履行其关于所有预扣税的义务(如果有的话)；(I)扣留参赛者的 本公司、雇主或任何联营公司应付予参赛者的工资或其他现金补偿，(Ii)要求参赛者向本公司或联属公司支付预扣税款的现金，及/或(Iii) 本公司决定根据本计划及在适用法律或本计划所规定的范围内，经董事会或委员会批准的任何其他扣缴方式。尽管如上所述，如果参与者是交易法规定的本公司第16条规定的高级管理人员，本公司将扣留支付RSU时将发行的股份中的股份，如本文所述，并且不会使用本第6条规定的其他方式。

(C)公司可以通过考虑法定或其他预扣费率，包括参与者管辖范围内的最高适用费率，来预扣预扣税款。如果超额扣缴，参与者可以从公司或雇主那里获得任何超额扣缴的现金退款(无权获得等值的股票金额)，否则，参与者可以向当地税务机关申请退款。在预扣不足的情况下，参与者可能被要求直接向适用的税务机关或向公司和/或雇主支付任何额外的与税收相关的项目。参与人不履行与纳税有关事项的义务的，公司可以拒绝发行或交付股份或股份出售所得。

10	对于位于美国以外的某些国家/地区的员工，还将插入或添加特定的当地税法和证券法条款作为RSU协议的附录。

5

(A)公司在归属和结算RSU时向参与者交付股票的义务应满足所有所得税(包括联邦、州和地方税)、社会保险、工资税、预付款或其他与预扣税相关的要求(预扣税)。为了满足参与者的RSU的所有预扣税，参与者同意以下内容：

(B)参与者 在此选择履行因公司保留股份而产生的所有预扣税义务。因此，参与者特此指示公司，在参与者不采取进一步行动的情况下，从当时归属或计划归属的RSU中扣除和保留参与者有权获得的股份数量，该数量等于预扣税金的价值。该等已交出股份的公平市价将以普通股于各自归属日期的收市价为基准，但如该日期不是交易日，本公司将于该日期后的第一个交易日采用收市价。参保人同意，如果本公司扣留的RSU的价值超过任何特定年度可征收的最高社会保险金额，本公司将以现金形式向参保人退还超出的金额。

(C)参与者已与参与者自己的税务顾问一起审查了此股权奖励的联邦、州、地方和外国税收后果以及本协议预期的交易。参与者仅依赖此类顾问，而不依赖公司或其任何代理人的任何声明或陈述。参与者理解，参与者 (而不是本公司)应对参与者本人因本股权奖励或本协议预期进行的交易而产生的纳税责任负责。

(D)参与者向本公司表示，截至本协议日期，他/她不知道任何有关本公司或普通股的重大非公开信息。参与者和公司已将本协议构建为一份具有约束力的合同，涉及公司根据本第6条保留普通股，符合1934年《证券交易法》第10(B)条下根据该法案颁布的第10b5-1(C)条规定的对责任的积极抗辩。.

7.批地的性质。在签署本协议时，参与者承认：

(A)本计划由本公司自愿订立，属酌情性质，可由本公司随时修改、修订、暂停或终止，但本计划及本协议另有规定者除外。

(B)给予RSU是自愿的，而且是偶然的，并不产生任何合同或其他权利，以获得未来的RSU奖励或代替RSU的利益，即使RSU在过去曾多次被授予。

(C)关于未来授予RSU(如有)的所有决定将由本公司全权酌情决定。

(D)参加者参加该计划是自愿的。

(E)RSU不是任何目的正常或预期薪酬或薪资的一部分，包括但不限于任何工资、遣散费、裁员或其他服务终止付款、奖金、长期服务金、退休金或退休福利或类似付款的计算，在任何情况下均不得被视为对公司或参与者雇主过去服务的补偿，或以任何方式与 本公司或参与者雇主的服务相关，或因任何雇佣协议而产生。

(F)不适用于RSU的投票权或股息或 分配权。

(G)标的股份的未来价值是未知的，也不能确定地预测。

(H)如果参与者在归属和结算时收到股份，则归属和结算RSU时获得的此类股份的价值可能会增加或减少。

6

(I)对于授予RSU，不会因RSU的终止或因公司或参与者的雇主终止受雇而导致的RSU归属和和解时收到的RSU或股份的价值减值而产生任何索赔或获得补偿或损害的权利 (出于任何原因，无论是否违反当地劳动法)，并且参与者不可撤销地免除公司及其雇主可能产生的任何此类索赔；尽管有前述规定，如果有管辖权的法院发现 已发生任何此类索赔，则通过签署本协议，参与者应被视为不可撤销地放弃了其继续索赔的权利。

(J)除本协议第二节另有规定外，如果参与者不再是员工(无论是否违反当地劳动法)，参与者根据本计划获得RSU和授予的权利(如果有)将自参与者不再受雇于公司之日起终止，并且不会被当地法律规定的任何 通知期延长(E.g根据当地法律，在职员工不包括一段时间的园艺假或类似的假期)；根据第409a条的规定，公司有权自行决定参与者何时不再从事在职工作。

8.数据隐私声明和 同意。通过接受RSU，参与者同意按如下方式处理其个人数据：

(a) 数据收集和使用。本公司位于美国马萨诸塞州01810，安多弗，2 Tech Drive，Suite201， ，并由参与者自行决定授予RSU。公司及其子公司收集、处理和使用参与者的个人数据，包括参与者的姓名、家庭住址、出生日期、社会保障号码、工资、员工识别号、公司电子邮件地址以及所有以参与者为受益人的已取消、已授予或未支付的RSU的详细信息，这些数据是公司从参与者或参与者的雇主那里收到的。本公司为实施、管理和管理本计划而收集数据。本公司处理数据的法律依据是参与者的同意。

(b) 股票计划管理服务提供商。本公司和/或其子公司可将数据传输给富达股票计划服务公司及其附属公司，后者协助本公司实施、管理和管理本计划。未来，该公司可能会选择不同的服务提供商，并与另一家以类似方式提供服务的 公司共享数据。公司的服务提供商将为参与者开立一个帐户以获得份额。参与者将被要求与服务提供商就单独的条款和数据处理实践达成一致，这是参与者是否有能力参与计划的一个条件。

(c) 国际数据传输 。本公司总部设在美国，其服务提供商设在美国。如果参与者不在美国，参与者应注意，参与者所在的国家/地区已制定了与美国不同的数据隐私法。本公司传输数据的法律依据是参与者的同意。

(d) 数据保留。本公司将仅在实施、管理和管理参与者参与本计划所需的时间或在遵守法律或法规义务(包括税收、证券、外汇管制和劳动法)的情况下使用数据。此期限可能超过参与者终止雇用的时间。当本公司不再需要这些数据时，本公司将在合理可行的最大程度上将其从其系统中删除。如果本公司将数据保存更长时间，将是为了履行法律或法规义务，而本公司的法律依据将是相关法律或法规。

(e) 自愿和拒绝或撤回同意的后果 。参与该计划和参与者的同意完全是自愿的。参加者可随时拒绝或撤回其同意。如果参与者不同意或 参与者撤回同意，则参与者不能参与计划。这不会影响参保人从参保人雇主那里获得的工资或受雇于该参保人的雇主；参保人只会 失去与该计划相关的机会。

7

(F)数据主体权利。参与者根据其所在国家/地区的数据隐私法拥有多项权利。根据参与者所在地的不同，参与者的权利可能包括(A)请求访问或复制数据，(B)更正不正确的数据，(C)删除 数据，(D)限制处理，(E)数据的可携带性，(F)向参与者所在国家的主管当局提出投诉，和/或(G)列出任何潜在数据接收者的姓名和地址。 要获得有关参与者权利的澄清或行使参与者的权利，参与者应联系公司，地址为2 Tech Drive，Suite 201，Andover，马萨诸塞州01810，美国

9.杂项¹¹.

(A)没有就业权或服务权。参与者确认并同意，根据第1条或第2条和本合同附件A授予的RSU仅根据该等条款的条款而获得。参与者进一步确认并同意，本协议项下预期的交易和本协议规定的授予时间表并不构成在归属期间、任何其他期间或根本不作为员工或其他服务提供商继续聘用的明示或默示承诺。

(B)可分割性。本协议任何条款的无效或不可执行性不应影响本协议任何其他条款的有效性或可执行性 ，本协议的其他条款在法律允许的范围内均可分割和执行。

(C)豁免。董事会、委员会或其代表可在一般情况下或在任何特定情况下放弃本协议中有关本公司利益的任何规定。

(D)具有约束力。本协议对公司和参与者及其各自的继承人、遗嘱执行人、管理人、法定代表人、继承人和受让人具有约束力并符合其利益，但须遵守本协议第3节规定的转让限制。

(E)通知。本协议项下要求或允许的所有通知应以书面形式发出，并视为有效，在亲自送达或寄往美国邮局后五(Br)(5)天内，以预付邮资的挂号信或挂号信寄给本协议另一方，收件人为本协议另一方在本协议签名下显示的地址，或任何一方根据本协议第9(E)条指定给另一方的其他一个或多个地址。

(F)代词。 只要上下文需要，本协议中使用的任何代词应包括相应的男性、女性或中性形式，名词和代词的单数形式应包括复数，反之亦然。

(G)语言。如果参与者已收到翻译成英语以外语言的本协议或与本计划相关的任何其他文件，并且如果翻译版本与英语版本不同，则以英语版本为准。

(H)电子交付。公司可自行决定以电子方式交付与参与本计划有关的任何文件、根据本计划授予的RSU或根据本计划可能授予的未来RSU，或以电子方式请求参与者同意参与本计划。参与者特此同意以电子交付方式接收此类文件，并在提出请求时同意通过由公司或公司指定的其他第三方建立和维护的在线或电子系统参与计划。

11	对于在美国境外(法国和以色列除外)的雇员，将插入以下新的第(Br)分段，作为第9(I)分段，其余分段将重新标记为(J)-(N)。

(I)附录。 尽管本协议有任何规定，但RSU赠款应受制于本协议任何附录中为参与者所在国家规定的任何附加条款和条件。此外，如果参与者搬迁到附录中所包括的其中一个国家/地区，则该国家/地区的附加条款和条件将适用于该参与者，前提是公司确定出于法律或 行政原因，应用该等条款和条件是必要或适宜的。本协议附件是本协议的一部分。

8

(I)整个协议。本协议和本计划构成双方之间的完整协议，并取代与本协议主题相关的所有先前协议和谅解。

(J)修正案。除第5节规定外，本协议只能通过公司和参与者双方签署的书面文书进行修改或修改。

(K)适用法律；会场。本协议应根据马萨诸塞州联邦的国内法律进行解释、解释和执行，而不考虑任何适用的法律冲突。为执行本协议而提起的任何诉讼、诉讼或其他程序，无论是与本协议有关的，还是由本协议引起的，双方特此提交马萨诸塞州联邦内法院的唯一和专属管辖权，并 同意该法院作出和/或执行本协议的任何其他法院。

(L)施加其他规定。本公司保留权利对参与者参与本计划以及根据本计划收购的任何股份施加其他要求，只要本公司认为出于法律或行政原因是必要或适宜的，并要求参与者签署为实现上述目的可能需要的任何其他协议或承诺。

(M)参与者的致谢。参与者 确认：(I)已阅读本协议；(Ii)已由参与者自己选择的法律顾问代表本协议的准备、谈判和执行过程，或自愿拒绝寻求此类律师；(Iii)了解本协议的条款和后果；以及(Iv)充分了解本协议的法律效力和约束力。

9

兹证明，本协议双方已于上述日期签署本协议。