附件10.2

MKS仪器公司

限制性股票单位协议

根据2022年股票激励计划向非雇员董事发放年度补助金

马萨诸塞州MKS仪器公司(The Company)与《参与者名称》(The Participant Name)之间的协议《授予日期》(The Grant Date)。

对于收到的有价值的对价，双方同意如下：

1.一般情况。根据本协议和《公司2022年股票激励计划》(以下简称《计划》)中规定的条款和条件，本公司已向参与者授予受限股票单位(RSU) ，数量如本协议附件A所示，为本公司普通股(无面值)。RSU代表公司在归属和结算时交付股份的承诺。

(A)定义。本协议中未明确定义的大写术语应与本计划中赋予它们的含义相同。

(I)代码是指经修订的1986年美国国内税法。

(Ii)伤残是指(A)参与者因任何医学上可确定的身体或精神损伤而不能从事任何重大有利可图的活动，而该等损伤可预期导致死亡或可持续不少于12个月；或(B)参与者因任何可医学确定的可导致死亡或可持续不少于12个月的身体或精神损伤而领取本公司雇员意外 及健康计划下为期不少于三个月的收入替代福利。

(Iii)没收是指根据第2(A)节没收任何RSU。

(Iv)为本公司服务包括作为本公司或守则第424(E)或(F)节所界定的本公司任何母公司或附属公司的雇员、高级人员或董事人员或顾问或其顾问的服务。

(V)第1(B)节规定了归属日期。

(B)转归期。根据本协议的条款和条件(包括下文第2节所述的没收条款)，RSU应在(A)本协议日期后召开的本公司第一次股东周年大会的前一天或(B)授出日期后13个月内全部归属(该日期为归属日期)。公司应在实际可行的情况下尽快，但不迟于该归属日期后30天，指示其转让代理将受RSU约束的股票存入参与者在富达股票计划服务有限公司的现有股权账户或公司与之建立关系的其他经纪商 (经纪公司)，并按照所有适用税项第6节的规定付款。尽管有上述规定，股份可在本条第1(B)节所述日期后，仅在守则第409a节及其下的规定(第409a节)所允许或要求的范围内进行分配。

2.没收。

(A)停止服务。如果参与者在归属日期之前因任何原因或无故停止提供服务，无论是否有任何原因，参与者的所有未授予的RSU将自动被没收。尽管如上所述，如果参与者在归属日期之前因死亡或残疾而停止提供服务，则参与者的所有RSU将立即完全归属，不再受本协议项下没收条款的约束，受该等RSU约束的股份应在实际可行的情况下尽快交付给参与者，但不得迟于参与者终止日期后的三十(30)天。

(B)控制权的变更。尽管如上所述，在控制权变更(定义如下)生效后，参与者的所有RSU将立即完全归属，不再受本协议项下没收条款的约束，受该等RSU约束的股份应在控制权变更生效之日起实际可行的情况下尽快(但不迟于三十(30)天)交付给参与者。就本节而言，控制权变更是指以下任何事件的首次发生：(I)任何人(如1934年证券交易法(交易法)第13节和第14(D)(2)节中使用的那样)直接或间接成为有权在董事选举中投票的公司50%(50%)或更多股本的实益所有者(如交易法第13(D)节中使用的那样)；(Ii)本公司股东批准本公司的任何合并或合并，但如紧接合并或合并前的普通股持有人持有紧接合并或合并后尚存法团的普通股超过50%(50%)的本公司合并或合并除外；或(Iii)本公司股东批准将本公司的全部或实质全部资产出售或转让予并非本公司为成员的受控 法人团体(定义见守则第1563节)的任何一方。

3.对转让的限制。参与者不得自愿或通过法律的实施(统称为转让)出售、转让、转让、质押或以其他方式阻碍任何RSU或其中的任何权益，除非参与者可以(I)通过遗嘱或继承法和分配法转让此类RSU，或(Ii)根据合格的家庭关系命令或(Iii)为无偿转让给任何直系家庭成员或为其利益而无偿转让给任何直系家庭成员，为参与者和/或直系亲属的利益而设立的家族信托或其他实体，如果公司有资格使用证券法下的S-8表格将普通股出售登记给该建议的受让人，则受此类RSU的限制；但此类RSU应继续受本协议的约束(包括但不限于没收条款和第3节规定的转让限制)，并且作为转让的条件，该获准受让人应向公司提交书面文件，确认该受让人应受本协议的所有条款和条件的约束。

4.本计划的规定。本协议受本计划的条款约束，该计划的副本将提供给本协议的参与方。

5.第409A条。在参与者受美国联邦所得税 征税的范围内，根据本协议支付的RSU和付款旨在遵守第409a条的要求或有资格获得豁免，本协议的解释应与此一致。除第409a条明确允许或要求的范围外，公司和 参与者均无权根据本协议加速或推迟付款。如果符合第409a节的要求，本协议中定义的术语应具有第409a节中赋予此类术语的含义。尽管本协议有任何其他规定，但公司保留在其认为必要或适宜的范围内，自行决定单方面修改计划和/或本协议的权利，以确保本协议项下的所有奖励都有资格豁免或以其他方式遵守第409a条；但公司不承诺排除第409a条适用于本奖励或保证遵守该条款。除非适用法律另有规定，否则在第409a节定义的短期延迟期内到期的第5节所述的任何付款不应视为延期赔偿 。尽管有上述规定，本公司、其联属公司、董事、高级职员及代理人于拟豁免或不符合第409A条的RSU或董事会、委员会或其代表所采取的任何行动下，概不对参与者或任何其他方承担任何责任。

6. 税。

(A)本公司在归属和结算RSU时向参与者交付股票的义务应为 满足所有所得税(包括联邦、州和地方税)和任何其他与税收相关的要求(……税)。

2

(B)参与者已与参与者自己的税务顾问一起审查了此股权奖励的联邦、州、地方和外国税收后果以及本协议预期的交易。参与者仅依赖此类顾问，而不依赖公司或其任何代理人的任何声明或陈述。 参与者理解，参与者(而不是公司)应对参与者自己因本次股权奖励或本协议预期进行的交易而产生的纳税责任负责。

7.批地的性质。在签署本协议时，参与者承认：

(A)本计划由本公司自愿订立，属酌情性质，可由本公司随时修改、修订、暂停或终止，但本计划及本协议另有规定者除外。

(B)给予RSU是自愿的，是偶然的，并不产生任何合同或其他权利，以获得未来的RSU奖励或代替RSU的利益，即使RSU在过去曾多次被授予；

(C)关于未来授予RSU(如果有)的所有决定将由公司全权酌情决定；

(D)参加者参加该计划是自愿的。

(E)RSU不是用于任何目的的正常或预期薪酬或工资的一部分，包括但不限于任何工资、遣散费、裁员或其他服务终止金、奖金、长期服务金、养老金或退休福利或类似付款的计算，在任何情况下都不应被视为对过去服务的补偿，或以任何方式与过去的服务有关。

(F)不适用于RSU的投票权、股息或分配权。

(G)标的股份的未来价值未知，亦不能肯定地预测。

(H)如果参与者在归属和结算时收到股份，则在归属和结算RSU时获得的该等股份的价值可以 增减。

(I)对于授予RSU，不会因终止RSU或因公司终止参与者的服务关系而导致RSU的归属和和解时收到的RSU或股份的价值缩水而产生任何索赔或获得赔偿或损害的权利，且参与方不可撤销地免除公司可能产生的任何此类索赔；尽管有前述规定，如果有管辖权的法院发现任何此类索赔已经发生，则通过签署本协议，参与者应被视为不可撤销地放弃了其提出此类索赔的权利。

(J)除本协议第2节另有规定外，如果参与者停止提供服务，参与者根据本计划接收RSU和归属的权利(如果有)将自参与者不再主动提供服务之日起终止，并且不会因当地法律规定的任何通知期限而延长；公司有权根据第409a节的规定，确定参与者何时不再主动提供服务。

8.资料私隐通知及同意。

通过接受RSU，参与者同意按如下方式处理其个人数据：

(A)数据收集和使用。本公司位于美国马萨诸塞州01810安多佛市科技大道2号，邮政编码01810，并由参与者自行决定是否授予其RSU。公司及其子公司收集、处理和使用参与者的个人数据，包括参与者的姓名、家庭住址、出生日期、社会安全号码、电子邮件地址 以及公司从参与者处收到的所有已注销、已授予或未支付的RSU的详细信息(如数据)。公司收集数据的目的是实施、管理和管理该计划。本公司处理数据的法律依据是参与者的同意。

3

(B)股票计划管理服务提供者。本公司和/或其 子公司可将数据传输至富达股票计划服务公司及其附属公司，后者协助本公司实施、管理和管理本计划。未来，公司可能会选择不同的服务提供商，并与以类似方式提供服务的另一家公司共享数据。公司的服务提供商将为参与者开立一个帐户以获得份额。参与者将被要求与服务提供商就单独的条款和数据处理实践达成一致，这是参与者是否有能力参与计划的一个条件。

(C)国际数据转移。公司总部设在美国，其服务提供商设在美国。如果参与者不在美国，参与者应注意，参与者所在国家/地区制定的数据隐私法与美国的不同。公司传输数据的法律依据是 参与者的同意。

(D)数据保留。本公司将仅在实施、管理和管理参与者参与本计划所需的时间或遵守法律或法规义务(包括税收、证券、外汇管制和劳动法)的情况下使用数据。此期限可能超过参与者服务终止后的 。当本公司不再需要这些数据时，本公司将在合理可行的最大程度上将其从其系统中删除。如果本公司将数据保存更长时间，将是为了履行法律或监管义务，本公司的法律依据将是相关法律或法规。

(E)自愿和拒绝同意或撤回同意的后果。参与该计划和参与者的同意完全是自愿的。参加者可随时拒绝或撤回其同意。如果参与者不同意， 或如果参与者撤回同意，则参与者不能参与计划。这不会影响参与者的年度预约金或其他费用，也不会影响参与者在公司的服务；参与者 只会失去与计划相关的机会。

(F)数据主体权利。参与者根据其所在国家/地区的数据隐私法拥有多项权利。根据参与者所在地的不同，参与者的权利可能包括：(A)请求访问或复制数据，(B)更正不正确的数据，(C)删除数据，(D)限制处理，(E)数据的可携带性，(F)向参与者所在国家的主管当局提出投诉，和/或(G)列出任何 潜在数据接收者的姓名和地址。要了解参与者的权利或行使参与者的权利，参与者应联系公司，地址为美国马萨诸塞州01810，安多弗，技术大道2号。

9.杂项。

(A)没有服务权利关系。参与者承认并同意，根据本合同第1(B)条 或第2条授予的RSU仅根据该等条款的条款而获得。参与者还确认并同意，本协议项下预期的交易和本协议所载的转归时间表并不构成在转归期间、任何时期或根本不构成作为员工、高级管理人员、董事、顾问或顾问的持续服务关系的明示或默示承诺。

(B)可分割性。本协议任何条款的无效或不可执行性不应影响本协议任何其他条款的有效性或可执行性 ，本协议的其他条款在法律允许的范围内均可分割和执行。

(C)豁免。董事会、委员会或其代表可在一般情况下或在任何特定情况下放弃本协议中有关本公司利益的任何规定。

(D)具有约束力。本协议对公司和参与者及其各自的继承人、遗嘱执行人、管理人、法定代表人、继承人和受让人具有约束力并符合其利益，但须遵守本协议第3节规定的转让限制。

4

(E)通知。本协议项下要求或允许的所有通知应以书面形式发出，且应视为有效，在亲自送达或在美国邮局寄存五天后，以挂号或挂号信、预付邮资的方式寄给本协议另一方，收件人为本协议另一方在本协议签名下显示的地址，或任何一方根据本第9(E)条指定给另一方的其他一个或多个地址。

(F)代词。只要上下文需要，本协议中使用的任何代词应包括相应的男性、女性或中性形式，名词和代词的单数形式应包括复数，反之亦然。

(G)语言。如果 参与者已收到翻译成英语以外的语言的本协议或与本计划相关的任何其他文件，并且如果翻译的版本与英语版本不同，则以英语版本为准。

(H)电子交付。公司可自行决定以电子方式交付与参与计划有关的任何文件、根据计划授予的RSU或根据计划可能授予的未来RSU，或以电子方式请求参与者同意参与计划。参与者在此同意以电子交付方式接收此类文件，并在提出请求时同意通过公司或公司指定的其他第三方建立和维护的在线或电子系统参与计划。

(I)整个协议。本协议和本计划构成双方之间的完整协议，并取代与本协议主题相关的所有以前的协议和谅解。

(J)修订。除第5节另有规定外，本协议只能通过公司和参与者双方签署的书面文件进行修改或修改。

(K)适用法律；会场。本协议应根据马萨诸塞州联邦的国内法律进行解释、解释和执行，而不考虑任何适用的法律冲突。为执行本协议而提起的任何诉讼、诉讼或其他程序，无论是与本协议有关的，还是由本协议引起的，双方特此提交马萨诸塞州联邦内法院的唯一和专属管辖权，并 同意该法院作出和/或执行本协议的任何其他法院。

(L)施加其他规定。本公司保留权利对参与者参与本计划以及根据本计划收购的任何股份施加其他要求，只要本公司认为出于法律或行政原因是必要或适宜的，并要求参与者签署为实现上述目的可能需要的任何其他协议或承诺。

(M)参与者的致谢。参与者 确认：(I)已阅读本协议；(Ii)已由参与者自己选择的法律顾问代表本协议的准备、谈判和执行过程，或自愿拒绝寻求此类律师；(Iii)了解本协议的条款和后果；以及(Iv)充分了解本协议的法律效力和约束力。

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兹证明，本协议双方已于上述日期签署本协议。